산업가스

독일의 세계적인 가스 및 엔지니어링 전문기업 린데가 불소(F₂)를 디스플레이산업에 적용·확대할 수 있는 길을 열었다. 린데의 글로벌 전자 사업부인 린데 일렉트로닉스(Linde Electronics)는 최근 한국디스플레이산업협회(KDIA) 주관으로 실시된 장비, 재료 성능 평가에서 린데 온사이트 F₂가 현재 TFT-LCD 패널의 건식식각(Dry etch) 공정에 이용되고 있는 SF₆(육불화황)를 대체할 수 있는 수단으로 인증받았다고 밝혔다. KDIA 회원사 측에서 평가한 결과에 따르면, Gen 4.5 크기의 패널에서 실리콘산화물 및 나이트라이드 필름에 대해 린데의 불소를 사용했을 경우 동일한 테이퍼 각을 유지하면서 식각률 및 식각 균일도가 크게 개선됐다. KDIA R&D 기획팀 관계자는 “한국디스플레이산업협회는 한국에서 디스플레이 생산이 환경에 미치는 영향을 개선하기 위한 여러 가지 프로그램을 실행하며 특히 SF₆ 사용 감축을 강조하고 있다”며, “이번 평가 결과는 F₂가 SF₆를 대체해 더 나은 성능을 발휘할 수 있다는 사실을 보여준 첫 번째 테스트”라고 전했다. 린데는 이번 인증을 계기로 향후 LCD 제조업체와의 양산성 평가를 통해 양산 적용에 대해 검증할 예정이다. 린데의 불소 사업부 대표인 칼 잭슨(Carl Jackson)은 “디스플레이 생산이 환경에 미치는 영향을 개선하고 제조업체들의 공정성과 개선을 돕기 위한 KDIA 프로그램을 지원하게 된 점을 매우 기쁘게 생각한다”고 말했다. 한편 SF₆는 CO₂보다 지구온난화지수(GWP)가 2만3,900배 큰 온실가스로 전기를 통과시키지 않는 특성이 있기 때문에 반도체, 개폐기, 가스 절연 송전선 생산에 다량 사용된다. 이에 따라 전기전자산업이 발달한 우리나라는 다른 국가에 비해 육불화황 배출이 많다는 문제점을 가지고 있었다. 이에 비해 F₂는 GWP 가 ‘0’ 인 친환경 가스이자 생산성과 에너지 효율성이 높은 물질로 알려져있다. 이에 린데는 국내 시장을 타깃으로 온사이트 F₂개발을 꾸준히 지원해 왔으며 최근 늘어나는 주문량에 대처하기 위해 충남 아산 린데코리아 인주공장에 F₂생산 시설을 구축한 바 있다.