산업가스

반도체산업에서의 수요확대와 공급제한으로 인한 네온(Ne)가스의 수급불안이 심화되고 있는 가운데 사용량을 줄이기 위한 움직임이 본격화 되고 있다. 세계적 리소그래피 광원 제조사인 기가포톤(Gigaphoton)은 ‘네온가스 공급위기 구조 프로그램’을 개발·출시한다고 9일 밝혔다. 이번 프로그램은 △새로운 가스 공급 업체의 신속한 자격획득 △네온가스 사용량을 줄이기 위한 기가포톤의 eTGM기술 무료시행 △네온 재활용 기술인 hTGM의 도입 가속화 등을 내용으로 담고 있다. 네온은 반도체 제조 공정상 노광장비에 사용되는 ArF(불화아르곤) KrF(불화크립톤) 등 엑시머 레이저 가동에 필요한 완충가스로서 상당량이 사용된다. 네온은 대규모 ASU(공기분리장치)를 통해 액화시키고 별도의 설비를 달아 분별증류 과정을 거쳐 생산하는데 주요 생산국인 우크라이나와 러시아의 지정학적 문제로 인해 공급감소 문제가 지속되고 있다. 이로 인해 네온가격은 지속 상승중이며 국내 반도체 업체들은 가동 중단이라는 최악의 상황을 피하기 위해 비싼 가격에도 네온 확보에 적극 나서고 있다. 기가포톤이 네온 사용량 절감 프로그램 마련에 나선 것도 이러한 반도체 업계의 요구에 적극 대응하기 위한 것이다. 구체적으로 살펴보면 기가포톤은 신규 가스 공급업체의 시험 및 자격취득을 기존 6~12개월에서 1개월로 단축시켜 네온 확보가 용이하도록 했다. 기가포톤은 네온 사용량을 줄일 수 있는 eTGM 프로그램을 오는 11월부터 G41K 시리즈의 KrF 레이저와 GT40A 시리즈의 ArF 레이저에 확대해 무료제공한다. 이를 통해 고객사는 KrF과 ArF 레이저에서 네온 사용량을 25% 줄일 수 있으며, ArF 액침 레이저의 경우 50%까지 줄일 수 있다. 가스 소비량의 50%까지 재활용할 수 있는 기가포톤의 최신 가스 재활용기술인 hTGM가 내년으로 앞당겨져 출시된다. 토마루 히토시(Hitoshi Tomaru) 기가포톤 사장은 “네온은 반도체 제조를 위한 필수불가결한 가스이며 우리는 이러한 상황하에서 지속되는 공급 위기가 생산의 연속성을 위협하는 매우 심각한 문제임을 인식하고 있다”며 “기가포톤은 이들 프로그램을 통해 수요처의 안정적 생산을 지원하기 위한 모든 노력을 다 할 것”이라고 말했다.