산업가스

에어리퀴드가 반도체·태양광분야 특수소재 공급기업인 볼텍스(Voltaix)를 인수하며 첨단소재 포트폴리오를 강화하게 됐다. 에어리퀴드는 전자재료회사인 미국 볼텍스를 인수하는 계약에 사인했다고 지난 12일 밝혔다. 이번 인수는 해당 규제 검토 후 올 여름에는 마무리될 예정이다. 1986년에 설립된 볼텍스는 반도체와 고성능 태양전지 생산에 사용되는 실리콘, 게르마늄, 붕소 화학물질 등 특수소재 생산 기업이다. 현재 미국 뉴저지, 플로리다, 펜실베니아 등 3곳에 제조공장을 가동하고 있으며 우리나라에서는 원익머트리얼즈와 충남 연기군 전의산업단지에서 GeH₄(사수소화 게르마늄) 합성공장을 운영 중이다. 이번 인수를 통해 에어리퀴드는 반도체케미컬 사업부문을 한층 더 강화하게 됐다는 평가다. 회사는 반도체원자층 증착(ALD) 및 화학기상증착(Chemical Vapor Depositon, CVD) 전구체 및 소재 솔루션 라인업을 일컫는 자사의 브랜드인 ‘ALOHA™’에 많은 투자를 하며 공을 들이고 있다. 볼텍스는 GeH₄, 초고순도 디실란(Si₂H₆)등 반도체용 특수가스 외에도 20나노 이하급 차세대메모리 생산공정에 적용되는 물질인 트리실릴아민(TSA:Trisilylamine) 소재 등에 대한 다양한 특허기술을 확보하고 있어 에어리퀴드는 소재의 개발과 규모 확장에서의 시너지효과를 기대하고 있다. 특히 반도체 제조사들이 원하는 새로운 첨단소재의 생산에 빠르게 대응할 수 있게 됐다는 점에서 강력한 경쟁력을 갖추게 됐다. 마아클 그래프(Michael J. Graff) 에어리퀴드 북미지역 부사장은 “혁신의 문화를 공유하고 있는 에어리퀴드와 볼텍스는 두 회사의 자원과 전문성을 결합시킴으로써 전세계의 반도체 제조사들을 위한 제품 공급을 확대시킬 것”이라며, “새로운 기체소재들에 대한 지속적인 혁신을 통해 에어리퀴드는 증가하고 있는 평판디스플레이, 태블릿, 스마트폰에 대한 고객들의 수요를 시기적절하게 충족시킬 것”이라고 말했다. 한편 프랑스에 본사를 두고 있는 100여 년 역사의 다국적 산업가스 및 케미컬기업 에어리퀴드는 미국, 유럽, 중국, 일본 등 8개의 연구소를 두고 매년 300여 편의 특허를 신규 등록하고 있는 R&D 중심기업이기도 하다. 에어리퀴드의 주 생산품은 전자, 철강, 바이오 등에 필요한 가스공급이나, 최근 전자산업의 발전에 힘입어 에어리퀴드는 전자사업부를 통해 초고순도 케리어, 특수가스, 새로운 기체소재 등 반도체 케미컬에서의 매출을 확대하고 있다. 지난해 전세계 에어리퀴드의 매출은 153억유로(약 23조원)를 기록했는데 이중 에어리퀴드 전자사업부의 매출은 12억2,200만유로에 달했다.