“전자산업용 불소(F₂)에서 쌓아온 린데의 기술력이 시장확대와 함께 진가를 발휘할 것입니다.”

서울 삼성동 코엑스에서 만난 린데코리아 전자가스사업부문 전용옥 부장(사진)은 불소가스의 부상을 전망하며 자사 경쟁력의 우위를 강조했다.

린데코리아(대표이사 브렛 딕슨 킴버)는 지난 7~9일 국제반도체장비재료전시회 ‘세미콘코리아(SEMICON korea) 2012’에 자사의 아산화질소(N₂O), 헬륨(H₂), F₂ 등 반도체 공정용 가스품목을 내놨다.

일반산업가스에서 반도체용 특수가스에 이르는 산업가스 전반에 걸쳐 신뢰성을 인정받아온 회사가 향후 유망품목으로 이들 3개 소재를 지목했다는 점에서 주목할 만하다.

특히 전용옥 부장은 그 중에서도 F₂의 성장가능성을 높이 평가했다.

그는 “F₂는 실리콘(Si) 디퓨전 공정, TFT-LCD 챔버 세정의 기존 사용처 외에 에칭(식각)용 등으로 그 용도가 확대될 것”이라며 “이미 실리콘 박막 제조공정에 대한 F₂ 적용 평가에서 사용가능성을 입증 받았다”고 말했다.

무엇보다 F₂시장의 확대를 예상케하는 가장 직접적인 요인은 바로 환경문제다.

반도체 및 LCD의 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition, CVD) 공정에서 챔버 세정용으로 각광 받아온 삼불화질소(NF₃)와 에칭용도로 널리 쓰이는 육불화황(SF₆)이 온실가스로 지목되면서 그 대체 물질로서 F₂의 가치가 주목받고 있는 것이다.

전용옥 부장은 “지구온난화지수(GWP)가 1만7,200에 달하는 NF₃나 2만3,900인 SF₆는 (향후)사용을 하지 않던가 소각 등의 방법으로 처리를 해야하기 때문에 대체가스의 니즈가 커지고 있다”고 말했다.

또한 그는 “가격면에서도 F₂가 NF₃보다 20%가량 가격경쟁력이 있는 것으로 파악하고 있다”고 덧붙였다.

NF₃의 경우 이미 지난 2004년 경부터 ‘친환경 세정가스’로 F₂가 가장 유력한 대체물질로 거론되고 있으며 린데는 전신인 BOC그룹 시절 성원에드워드(現 에드워드 코리아)와 F₂발생장치 양산공장을 갖추는 등 이 부분에 일찌감치 관심을 기울여 왔다.

전 부장은 “SF₆ 역시 최근 F₂로의 대체 테스트에서 좋은 결과가 나와 향후 충분한 대체가 가능할 것으로 본다”고 덧붙였다.

최근 솔베이와 에어리퀴드의 F₂합작에 대해서는 “솔베이가 일반산업용 F₂에 집중해 왔다면 린데는 전자산업용 수준의 F₂를 생산해온 독보적인 회사”라며 “어플리케이션 기술에서 린데가 확실히 앞서있다”고 강조했다.

▲ 린데코리아 전시부스.

N₂O 역시 만만치 않은 기대주다.

국내 디스플레이산업의 중심이 기존의 TFT-LCD에서 유기발광다이오드(OLED) 등 차세대로 이동할 것으로 전망되는 가운데 그 생산에 사용되는 N₂O의 급성장이 기대되고 있는 것이다.

전용옥 부장은 “차세대 디스플레이산업의 성장에 따른 수요에 대응하기 위해 1, 2차에 걸쳐 총 연산 5,000톤 규모의 N₂O 플랜트 건설을 추진하고 있으며 오는 5월 착공해 11월이면 완공될 것”이라고 밝혔다.

시장 확대 조짐에 따라 최근 기존 제조사의 공급능력 확대와 함께 린데와 대성산업가스 등 대형 가스기업들의 대규모 신규 투자가 이어지면서 전운이 감돌고 있다.

전 부장은 이에 대해서도 “국내 (생산)설비의 거의 대부분이 린데제품이고 전 세계 N₂O 가스 시장의 80%를 린데가 차지하고 있다”며 기술력의 차이를 확신했다.

린데는 최근 국내 산업가스 시장에서 다소 침체된 모습을 보여왔다.

그러나 2012년, 새롭게 떠오르는 신성장 품목에서 ‘발군의 경쟁력’을 자부하는 전용옥 부장의 자신감 가득한 웃음이 전통의 글로벌 가스·엔지니어링 기업 린데의 약진을 기대하게 한다.


신소재경제
김성준 기자 sj@amenews.kr