▲ 대덕가스가 군산 제2공장을 구축하고 TCS 등 특수가스 사업을 확대한다.

산업가스 및 특수가스 전문기업 대덕가스(대표이사 윤일재)가 반도체 산업에서 수요가 늘고 있는 특수가스인 TCS(트리클로로실란) 시장에 본격 진출해 국내 반도체 소재 공급망 및 생산시설 안정화에 기여할 전망이다.

대덕가스는 일본의 도쿠야마(TOKUYAMA社)와 계약을 체결하고 전북 군산 국가산업단지에 위치한 제2공장에서 TCS 공급을 시작한다고 6일 밝혔다. 약 3천평 규모로 새로 구축된 군산 제2공장은 TCS 충전시스템이 구축됐다.

TCS(SiHCl₃)는 반도체 CVD 공정과 EPI 공정에서 실리콘을 증착시키는 데 사용되는 특수가스로 반도체 공정 미세화로 인해 그 수요량이 해마다 꾸준히 증가하고 있다.

이에 대덕가스는 다양한 전자재료를 공급하는 종합화학 제조사인 도쿠야마와 TCS 공급 계약을 체결하고 협력을 통해 국내는 물론 아시아 전역의 반도체 시장에 TCS를 공급할 계획이다.

도쿠야마는 일본을 대표하는 폴리실리콘 메이커로 주요 반도체 제조사에 실리콘 웨이퍼용 폴리실리콘을 공급하고 있다. 또한 폴리실리콘 제조에 필요한 고순도 TCS를 직접 생산하면서 품질을 인정받았다.

이번 대덕가스의 TCS 충전시설의 확보는 국내 TCS 생산시설의 다변화와 생산량 추가 확보로 수요처에 안정적인 공급 등을 제공할 것으로 기대된다.

우리나라는 대부분의 특수가스를 수입에 의존하고 있는데 지난 2019년 일본과 무역분쟁으로 반도체 산업에 필수적인 불화수소 수급에 어려움을 겪었고, 2022년에는 러-우 전쟁의 여파로 희귀가스 공급부족에 따른 가격급등으로 혼란을 겪은 경험이 있다. 때문에 국내 특수가스 생산능력 확대는 반도체 산업 공급 안정화 및 특수가스 산업의 건전한 발전에 필수적이다.

특히, TCS 원료 공급은 일본 및 국내에 여러 곳에 존재했지만 충전시설은 국내에서 유일하게 1곳이었다는 것은 잠재적인 위험요소로 작용했었다. 하지만 이번 시설의 옵션을 통해 안정적인 시장공급은 물론, 예기치 못한 위험에 대비가 가능하게 됐다.

인천본사 외 총 5개 공장을 운영 중인 대덕가스는 미래 먹거리 아이템으로 반도체, 디스플레이 등에서 수요가 늘고 있는 특수가스 사업을 강화하고 있다. 이를 위해 지난 2009년 군산공장을 구축 가동하고 액체헬륨, 암모니아, 디메틸아민(DMA), 프로필렌(C3H6), 소화용 및 의료용가스, 각종 혼합가스를 제조해 첨단산업군에 공급하고 있다,

이번에 새로 가동되는 군산2공장에는 TCS, 디클로로실란(DCS), 실리콘테트라클로라이드(STC) 충전시설을 비롯해 메틸트리클로로실란(MTS), 보론트리클로라이드(BCl3) 저장시설 및 ICP-MASS 포함 분석 시스템을 완벽하게 구축돼, 명실상부한 국내 최대 품목 제조·판매 시설을 운영하는 산업가스 충전기업으로 거듭나게 됐다.

도쿠야마 관계자는 “대덕가스와 파트너십을 통해 한국 TCS 시장 진입을 시작으로 사업이 지속적으로 성장해 나갈 수 있도록 다각도의 지원을 아끼지 않을 방침”이라고 말했다.

대덕가스 윤일재 대표는 “항상 안전을 최우선의 가치로 여기며 철저한 안전관리에 만전을 다해온 대덕가스는 고객사에게 최고의 품질의 특수가스를 안정적으로 공급하면서 대한민국 첨단산업 발전에 기여할 수 있도록 최선을 다하겠다”고 밝혔다.