기사 메일전송
  • 기사등록 2021-08-31 17:06:03
  • 수정 2021-12-27 14:10:43
기사수정


▲ ㈜원익머트리얼즈 양청사업장 전경


반도
체·디스플레이 등 특수가스 전문기업 원익머트리얼즈(대표 한우성)가 최근 반도체 제조공정에서 신규 에칭가스로 주목받고 있는 황화카보닐(COS:Carbonyl sulfide)을 국산화하는 등 대한민국 반도체 공급망 안정화를 위해 특수가스 사업을 적극 확대하고 있다.


원익머트리얼즈는 지난 2018년 신규 조성한 21,000평 규모의 충북 청주시 오창읍 양청2사업장에 대한 투자를 지속하고 있다. 먼저, 약 150억원을 투자하여 2018년 연산 5,400톤 규모의 N2O 합성·정제 공장 추가 투자를 완료한바 있다.


반도체 공정미세화에 따른 에칭가스 수요증가를 선제적으로 대응하기 위해 수종의 에칭가스를 국산화하는 정제 공장 투자를 완료해 2021년말 양산 공급을 목표로 최종 점검 중에 있다.


특히 최근 반도체 제조공정에서 신규 에칭가스로 주목받고 있는 황화카보닐(COS:Carbonyl sulfide)을 국산화하는데 성공해 수입대체 및 공급망 강화에 기여할 전망이다.


COS는 유기계 반사 방지막의 플라즈마에 의한 고이방성 및 고선택성 에칭용의 에칭가스다. 최근 반도체 미세화 및 단수 증가로 인해 에칭공정의 중요성이 높아지고 있는데, COS를 기존의 에칭가스와 함께 사용할 경우 에칭특성을 크게 개선시킬 수 있다는 결과가 발표되면서 차세대 반도체 공정의 에칭가스로 많은 주목을 받고 있다. 현재 국내 반도체 업체에는 일본계 기업이 주로 COS를 공급하고 있는 상황이다.

원익머트리얼즈는 COS 에칭가스 관련 제조기술에 대한 특허를 2009년 출원 및 2010년 등록했으며, 이미 지난해 본사 양청사업장 내에 있는 R&D 파일럿플랜트에서 생산 및 품질검증을 완료해 합성 및 정제기술을 확보한 상태다. 이러한 기술력을 바탕으로 2022년 6월 공장 가동과 2023년 고객사 공급을 목표로 현재 공장 건설이 진행중이며, 연산 200톤 규모의 생산캐파를 확보할 계획이다.


원익머트리얼즈는 이러한 지속적인 투자를 통해 지난 10년간 10% 내외로 꾸준한 성장을 해왔다. 외형성장과 더불어 신규 소재 개발을 위해 물질 합성부터 웨이퍼 레벨(Wafer Level) 평가까지 모든 공정을 자체적으로 수행할 수 있는 R&D 인프라 구축을 완료해 차세대 소재 개발 분야에서도 기술적인 역량을 강화함은 물론 소재 원천기술 확보에도 박차를 가하고 있다.


원익머트리얼즈 관계자는 “반도체 공정이 초미세화, 3D 다단화 등 첨단 공정으로 전환됨에 따라 고품질 특수가스 개발과 공급 관리가 매우 중요해진 상황”이라며 “지난 20년간 반도체·디스플레이 기업과 함께 특수가스를 국산화한 경험을 바탕으로 대한민국 반도체 소재 공급망 안정화와 경쟁력 강화에 지속 기여하겠다”고 밝혔다.

0
기사수정

다른 곳에 퍼가실 때는 아래 고유 링크 주소를 출처로 사용해주세요.

http://amenews.kr/news/view.php?idx=46129
기자프로필
프로필이미지
나도 한마디
※ 로그인 후 의견을 등록하시면, 자신의 의견을 관리하실 수 있습니다. 0/1000
마크포지드 9월
프로토텍 11
디지털제조 컨퍼런스 260
로타렉스 260 한글
이엠엘 260
3D컨트롤즈 260
서울항공화물 260
엔플러스솔루션스 2023
엠쓰리파트너스 23
하나에이엠티 직사
린데PLC
스트라타시스 2022 280
생기원 3D프린팅 사각
아이엠쓰리디 2022
23 경진대회 사각
모바일 버전 바로가기