에어프로덕츠코리아가 삼성 디스플레이 단지 OLED 제조라인에 관련 산업가스를 장기 공급하며, 국내 OLED 산업 발전에 기여한다.

에어프로덕츠코리아는 최근 삼성디스플레이와 기체 질소, 기체 산소, 액체 아르곤을 삼성 탕정 공장의 OLED(Organic Light Emitting Diode) 제조라인에 공급하는 새로운 장기 계약을 체결했다고 25일 밝혔다.

에어프로덕츠코리아는 지난 2004년부터 삼성 디스플레이 탕정 생산 라인에 관련 산업가스를 공급해 왔으며, 이 단지를 지원하기 위해 5개의 질소공장과 파이프라인 네트워크 및 관련 인프라를 운영 중이다.

에어프로덕츠는 40년 이상 전 세계 전자 업계에 서비스를 제공해 오고 있으며 업계 선두 업체와 협력해 태블릿, 컴퓨터, 모바일 디바이스 등을 위한 차세대 반도체와 디스플레이 개발에 필요한 산업가스를 안전하고 신뢰성있게 공급하고 있다.

에어프로덕츠 코리아는 SDC와 지난 2010년 12월과 2011년에도 계약을 맺으며 SDC의 5.5세대 AMOLED 팹을 지원한 바 있다.

또한 에어프로덕츠는 전세계에 위치한 삼성 관련 시설에 관련 산업가스를 공급하고 있으며 지난 1월3일에는 삼성전자의 평택 기가팹(Giga Fab) 지원을 위한 2개의 질소 공장 건설의 확장 계획을 발표하기도 했다.

에어프로덕츠는 2015년 삼성 전자의 주요 계약을 수주해 1단계로 초고순도 질소 플랜트, 수소발생기, 액화기 및 벌크 전문 공급 시스템 등 여러 단계의 생산 설비를 구축한 바 있다. 또한 최근에는 질소 공급을 위한 2단계의 프로젝트를 완료하며 추가적인 고순도 질소 플랜트 가동한 바 있다.

한편 디스플레이 제조 공정에 사용되는 질소는 냉각 및 퍼징(purging) 공정에 사용된다. 리소그래피 공정 중 웨이퍼를 깨끗하게 하고 응착력을 높이기 위해 질소로 씻어내는 작업에 이용된다. 또한 OLED 공정에서 수분과 산소를 차단하는 봉지(encapsulation) 공정에도 사용되고 있다.

이와 함께 질소의 사용량은 LCD공정에서 OLED공정으로 넘어오면서 사용량이 폭발적으로 증가하고 있다.

OLED는 유기물이기 때문에 산소와 습기에 취약해 진공상태에서 공정이 진행되는 경우가 많아 고가의 진공챔버가 필요하나, 최근 진공 챔버 대신 질소가 채워진 상온에서 공정을 진행하는 기술이 발전하면서 생산비용을 절감할 수 있는 질소의 사용이 급격히 늘고 있다.