기존의 결정형 Si 태양전지에 비해 실리콘 재료를 최소화할 수 있는 박막형 Si 태양전지에 관련 업체들의 관심이 증폭되고 있다.

특허청(청장 고정식)에 따르면, 지난 14년간(1995~2008) 화학적·물리적 기상 증착 방식과 같은 반도체?LCD 증착기술을 적용한 박막형 Si 태양전지의 국내 특허출원은 총 707건이었다.

이를 연도별로 살펴보면, 1995~1996년 27건, 1997~1998년 66건, 1999~2000년 62건, 2001~2002년 57건, 2003~2004년 82건, 2005~2006년 164건, 2007~2008년 249건으로, 1997년 외환위기 이후 2004년까지 잠시 주춤했다가 최근에 급격히 증가하는 추세를 보이고 있다.

출원인별 동향을 살펴보면, 외국인은 59%의 점유율을 보이는데 특히 결정형 Si 태양전지 분야에서 선두를 달리고 있는 일본(54%)이 가장 많은 부분을 차지하고 있다. 그 뒤로 미국(32%), 독일(5%) 등의 순으로 나타났다.

주요 출원인으로는 삼성전자·삼성SDI가 68건으로 수위를 차지했으며 캐논(48건), LG전자?LG화학?LG필립스LCD(37건), 소니(15건), 어플라이드머티어리얼스(15건), 코닝(14건), 주성엔지니어링(14건), 등이 다수의 출원건수를 나타냈다.

증착 방식별로 살펴보면, 원자층 증착(ALD)을 포함한 화학적 기상 증착(CVD)과 스퍼터, 진공 증발법을 포함한 물리적 기상 증착(PVD)은 각각 134건 및 112건으로 거의 비슷한 비율로 출원되었다. 특히 PVD는 2006년에 급격한 상승세를 나타냈는데 이는 PVD를 이용해 패턴형성, 모듈화, 표면처리, 에칭 및 전극·전도막 형성과 같은 태양전지의 다른 부대 요소에 대한 출원이 증가하였기 때문이다.

한편 한국철강 및 알티솔라는 국내 최초로 박막형 비정질 Si 태양전지 라인을 건설했고 소디프신소재와 코아텍은 모노실란 생산설비 증설에 나섰다. 아직 1세대 결정형 실리콘 소재분야에 집중되고 있으나 머지않아 박막형 Si 태양전지를 포함한 다양한 박막형 태양전지의 상용화가 이뤄질 것으로 예상되고 있다.