▲ (左부터)서원석 한국가스안전공사 안전관리이사, 김형환 SK하이닉스 부사장, 박찬기 산업부 수소경제정책관, 송두근 삼성전자 부사장, 김정회 한국반도체산업협회 상근부회장이 업무협약 체결 후 기념촬영을 하고 있다.(사진:가스안전공사)

산업통상자원부(장관 안덕근)가 민간 실무협의회를 구성해 반도체산업 분야의 고압가스 안전관리기준 고도화와 제도개선, 기술지원 등에 나선다.

산업통상자원부(장관 안덕근)는 반도체 업계와의 소통을 강화하고, 고압가스 안전관리기준을 고도화하기 위해 한국가스안전공사, 한국반도체산업협회, 삼성전자, SK하이닉스와 12일 업무협약을 체결했다고 밝혔다.

협약식에는 △박찬기 산업통상자원부 수소경제정책관 △서원석 한국가스안전공사 안전관리이사 △김형환 SK하이닉스 부사장 △송두근 삼성전자 부사장 △김정회 한국반도체산업협회 상근부회장 등이 참석했다.

이번 업무협약에 따라 반도체산업 분야 고압가스 안전관리기준 고도화를 위한 민관 실무협의회를 구성하기로 했다.

업계에서는 고압가스 안전관리 제도 개선을 위한 기술정보 등을 제공하고, 산업부와 한국가스안전공사는 신기술 도입 등에 따른 고압가스 안전관리기준 합리화 방안을 검토하고 안전컨설팅 등을 지원한다.

그간 반도체 산업은 최첨단 기술이 집약된 여러 공정을 통해 진행되고 산업 특성상 신소재의 사용, 신기술 도입 등 기술혁신이 급격히 이뤄지고 있다.

고압가스는 고압 상태의 가스로 기체 상태의 가스가 압축된 경우에는 1.0MPa(10기압) 이상, 가스가 액화된 경우에는 0.2MPa(2기압) 이상이면 고압가스에 해당된다.

반도체를 제조 시, 실리콘(Si) 절연막 등을 형성할 때 사용되는 모노실란(SiH4) 등의 다양한 고압가스들이 사용되고 있다.

반도체 생산공정은 환기시스템 등을 통해 청정도와 안전성을 갖춘 클린룸에서 진행되고 있으나, 현재의 일반 산업용 고압가스 안전관리기준을 적용함에 있어서는 어려운 점도 있었다.

이에 따라 산업부는 기업 애로를 해소하기 위해 업계와의 간담회·현장방문 등을 통해 그 동안 지속적으로 현장 애로과제를 도출하고 전문가 검토 등을 거쳐 규제혁신을 추진해 왔다.

가스안전공사는 산업부와 함께 신소재 배관재료 및 가스설비 두께 산정기준을 국제기준(ASME)과 동일하게 개정하고, 기존 건물 벽이 방호벽과 동등 이상의 강도를 갖는 경우 이를 방호벽으로 인정하는 등 반도체 초강대국 달성을 위한 가스안전분야 규제혁신을 추진해 왔다.

박찬기 수소경제정책관은 “현장 여건에 맞게 안전을 확보하면서 우리 반도체기업이 경쟁력을 강화하도록 안전확보와 산업발전의 균형을 도모하는 것이 중요하다”며, “반도체산업 외 석유화학, 특수가스 등 산업분야 업계와도 소통하여 가스안전관리기준 합리화를 지속적으로 추진해 나가겠다”고 전했다.

서원석 가스안전공사 안전관리이사는 “반도체 산업에서 고압가스 안전관리기준에 대한 규제혁신은 해당 산업 성장과 발전의 기반”이라며 “공사는 정부, 업계가 함께 하는 실무협의체를 구성해 현장의 애로사항을 지속적으로 협력하여 개선함으로써 안전의 토대 위에서 반도체 산업의 글로벌 경쟁력을 강화해 나갈 수 있도록 최선을 다하겠다”고 말했다.