반도체 및 디스플레이 장비용 세라믹 소재부품 전문기업 미코(회장 전선규)가 반도체 시장 호황에 따른 장비 수요 증대로 분기사상 최대 매출을 달성했다.

미코는 3일 여의도 금융투자교육원에서 1분기 IR 설명회를 개최하고 별도기준 매출 196억원, 영업이익 16억원을 기록했다고 밝혔다. 이는 전년동기대비 각각 21%, 6% 늘어난 수치로 분기사상 최대 실적이다.

이와 같은 호실적은 반도체 슈퍼사이클이 도래하면서 반도체 공정 장비용 세라믹 소재부품의 수요가 늘어난데 따른 것이다. 특히 회사의 주력 제품으로 반도체 플라즈마 화학증착장비(PE CVD)에 들어가는 AlN 세라믹 히터의 경우 수요 증대 및 고객사 다변화로 인해 매출은 전년동기대비 37% 증가한 73억원을 기록했다.

가스 인젝터, 엣지 링 등 세라믹 가공부품의 경우 반도체 미세화에 따른 공정 확대 및 기존 부품 대체수요로 인해 매출은 25% 늘어난 49억원을 달성했다. 디스플레이 장비에 들어가는 하부전극 매출도 전년동기대비 13% 늘어난 25억원을 기록했다.

미코는 올해도 반도체 호황이 지속되면서 이들 주력제품의 수요 증대와 함께 증설, 고객사 다변화가 동시에 추진되고 있어 올해 매출은 전년대비 29% 증가한 920억원, 영업이익은 28% 늘어난 82억원을 달성할 것으로 내다봤다. 세라믹 히터의 경우 지난해 5월 준공한 강릉 제2공에서 생산이 본격화되고 있고 올해 매출은 전년대비 120억원 들어난 400억원을 달성할 것으로 기대되고 있다.

세라믹 가공부품은 공급이 부족할 정도로 수요가 많아서 올해 매출은 전년대비 26억원 늘어난 200억원에 이를 것으로 추산되고 있다. 하부전극도 3분기 증설이 완료됨에 따라 매출은 전년대비 37억원 늘어난 140억원이 예상되고 있다.

미코는 내년부터 매출이 본격화 될 제품으로 건물·발전용 친환경 수소연료전지(SOFC:고체산화물연료전지)를 점찍고 있다. 미코는 지난 2008년부터 SOFC 개발을 시작해 관련 소재(슬러리·페이스트·파우더), 스택, 시스템 등 토털솔루션 기술을 확보했다. 이를 통해 자체기술로 2kW급 SOFC 시스템인 ‘TUCY’ 개발을 완료했다. 내년 상용화를 목표로 올해 제품 인증을 추진 중이며, 건물용 시스템 시장 진입을 시작으로 나아가 발전사업자로 나서 전력판매에 직접 나선다는 계획을 갖고 있다.

또한 미코는 신제품인 본딩장비용 히터의 매출도 본격화 될 것으로 기대하고 있다. 이 제품은 반도체 웨이퍼에 칩을 쌓는 패키징 장비에 적용돼 400℃의 열을 발생해 적층을 돕는다. 한미반도체가 최근 SK하이닉스에 공급한 최신 장비인 ‘실리콘 관통전극(TSV) 듀얼 스태킹 TC본더’에 탑재된 바 있다.

이날 IR 발표에 나선 이지훈 미코 차장은 “수요 증대와 증설에 힘입어 2분기에도 실적 상승세가 이어질 것으로 예상한다”며 “회사는 고객사의 기술 속도와 요구에 선제 대응하기 위해 기술개발에 적극 투자하고 있다”고 밝혔다.

한편 미코의 계열사로서 반도체 및 디스플레이 장비부품 세정·코팅을 담당하고 있는 코미코도 분기 최대 매출을 달성했으며, 이에 미코는 연결기준으로 올해 매출 목표를 전년대비 21% 늘어난 2,225억원으로 설정했다.