▲ 홍완철 인테그리스 한국법인 대표가 인사말을 하고 있다..

반도체 공정 미세화에 따른 다양한 화학물질 사용과 이로 인한 오염방지 및 세정 솔루션에 대한 수요가 높아지고 있는 가운데 인테그리스가 첨단 가스정제 솔루션 생산을 국내에서 본격 추진하며 한국 반도체 기업들의 경쟁력 강화에 기여한다.

초소형 전자산업용 특수화학 및 첨단소재처리 솔루션 선도기업 인테그리스(한국법인대표 홍완철)는 지난 7일 기자간담회를 개최하고 2월8일부터 10일까지 서울 코엑스에서 열리는 세미콘 코리아 2017에 출품하는 ‘GateKeeper®가스정제시스템(GPS)’을 국내에서 본격 생산한다고 발표했다.

반도체 공정이 날로 미세화되고 있는 가운데 1980년대 11개에 불과하던 반도체 재료수가 2000년대 들어 45개로 급증하는 등 신소재 특성 및 품질관리가 공정상 매우 중요해졌다. 최근에는 약 2,400개의 공정을 거쳐야 하는 10nm(나노미터)시대에 접어들면서 수율과 직결되는 정제된 소재와 오염관리가 반도체 업계의 주요 이슈로 남아있다.

GateKeeper® GPS는 반도체 제조공정에 필요한 CDA, 질소, 수소, EUV용 수소, 아르곤, 암모니아 등 가스내의 수분, 유기 솔벤트 등 불순물을 효과적으로 제거하는 시스템이다. 이 시스템을 통해 가스내 여러 오염물질을 1조분의 1분율 단위 수준으로 제거할 수 있으며 한번 설치하면 반영구적으로 사용할 수 있다. 특히 반도체 팹 공간을 최대한 활용해야 비용절감이 가능하다는 점에 착안해 시스템의 크기도 컴팩트하다.

인테그리스는 국내 장안공장에서 우선 질소, 알곤 등 유량이 많은 일반가스용 GateKeeper® GPS를 생산할 계획이다. 이 시스템은 가스 정제 및 재생 공정에 최소 한 대씩 투입돼야 하기 때문에 수요가 점차 커질 것으로 기대되고 있다.

이날 홍완철 인테그리스 한국법인 대표는 “기존 싱가폴 등에서 생산하던 GateKeeper® GPS를 한국에서 생산하기로 결정한 배경에는 한국 메모리 반도체 시장이 커지고 있어 고객의 요구에 좀 더 빠르게 대응하겠다는 회사의 의지가 있다”며 “장안공장을 아시아 생산허브화해 세계 주요 반도체 시장인 중국, 대만, 일본 등 시장에도 공급할 계획”이라고 밝혔다.

▲ 인테그리스의 ‘GateKeeper®가스정제시스템(GPS)’.

한편 인테그리스는 리소그래피, 에칭, 증착, 세정, CMP, 투입, 운송에 이르는 반도체 전 제조공정 토털솔루션 공급기업으로 거듭나고 있으며 이를 위해 매출의 10%를 연구개발에 투입하고 있다. 생산 중인 주요 제품군으로는 △웨이퍼 결함을 최소화하는 Post-CMP 클리닝 ‘PlanarClean® AG’ △액체분사 시스템 ‘IntelliGen®MV’ △임플란스 가스 실린더와 유통패키지 ‘SDS®’, ‘VAC®’ 등이 있다.

한국에서는 원주공장에서 밸브와 피팅, 배관 같은 유체를 관리하는 부품을, 장안공장에서는 임플란스 가스 실린더와 유통패키지, 습식화학물질, 3D 교체 라이너 등을 생산하고 있다. 수원에 구축한 한국기술센터(KCT)에서는 클린룸을 갖추고 습식화학물질, 증착화학물질, 케미칼 필터/정제분석 및 연구개발을 추진 중이다.