산업가스

반도체 및 LCD공정용 특수가스제조업체인 (주)원익머트리얼즈(대표 이준열)가 특수가스 ‘독립’를 위한 행보에 돌입하고 있다.최근 순수 국내 자본의 특수가스메이커인 원익머트리얼즈에 따르면 회사는 전량수입에 의존하고 있는 질화계 가스의 국산화를 위한 생산 공장을 마련 중이다.지난 6월 회사가 90억여원을 들여 구입한 연기군 전의일반산업단지 내 4만㎡ 규모의 제2공장부지가 그 곳. 현재 회사 부지의 2배에 달하는 이 곳에 올해 안으로 질화계 가스 생산 공장이 들어서면 내년 초 시운전에 들어갈 전망이다.질화계 가스는 반도체 및 플래시 메모리 공정에서 SiON(실리콘 옥시 니트라이드)막을 형성시키는데 없어서는 안 될 중요한 재료로서 수요가 증대되고 있는 주요 반도체 재료다. 회사는 현재 저순도 질화계 가스를 수입해 정제 공정을 거쳐 고부가가치 고순도 질화계 가스 생산 기술을 확보하고 제품을 생산 중이다. 그러나 최근 원료가격 상승과 원료확보의 어려움으로 인한 수익성 악화 등으로 인해 질화계 가스의 국산화가 시급한 문제로 부상했었다.회사는 질화계 가스 합성 및 정제기술 개발 연구를 통해 현재 상용화 공장 건설을 위한 구체적인 디자인을 진행하고 있다. 이를 통해 전량 수입에 의존하던 질소산화물가스의 수입대체는 물론 원가절감을 통한 고수익 확보를 기대하고 있다. 또한 회사는 오는 11월 고순도 고차 실란계 가스 공정 개발을 위한 장비를 도입, 연구개발에 본격 나설 계획이다.고차 실란계 가스는 실리콘의 증착 속도가 빠르고 저온에서 사용할 수 있는 장점을 가지고 있어 향후 반도체 제조 공정에서 실리콘 증착용으로 주목받고 있는 물질이다. 최근 일부 차세대 공정에서 양산공정에 이미 적용돼 향후 수요가 증대될 것으로 예상되고 있다.그러나 실란계 가스는 공기 중에 1%만 있어도 자연 발화될 정도로 폭발의 위험성이 커 취급·처리가 까다롭기 때문에 일부 선진국에서만 생산하고 있고 국내에서는 연구가 전혀 이뤄지지 않고 있는 것으로 알려져 있다.원익머트리얼즈는 이러한 고위험에도 불구하고 다른 가스에 비해 고부가가치가 높은 고차 실란계 가스 제품을 생산, 블루오션 시장을 선점해 회사의 매출 증대는 물론 수입대체를 통해 우리나라 전자산업 경쟁력 강화에 이바지 하겠다는 포부를 밝혔다.이를 위해 원료 확보와 함께 불순물제거를 위한 정제실험 설비를 11월에 마련하고 본격 연구에 돌입할 계획이며 향후 합성공정도 개발해 완전 국산화를 실현한다는 목표다.이외에도 회사는 반도체 세정용으로 쓰이며 지구온난화가스로 지정된 대표적인 환경오염물질인 SF6(육불화황)를 대체하는 특수가스 개발을 진행 중이다. 회사는 올해부터 5년간 한국에너지기술평가원이 주관하는 에너지·자원 기술개발사업에 삼성전자, (주)IPS와 함께 공동 참여해 본격적인 SF6 대체물질 개발 연구에 착수했다. 개발에 많은 난관이 예상되지만 성공시 현재 국내 600~700억원규모의 SF6 시장보다 더 큰 시장이 열릴 것으로 회사는 기대하고 있다.이처럼 특수가스의 국산화를 위한 원익머트리얼즈의 도전은 여전히 ‘현재 진행중’이다. 이와 같은 노력이 결실을 맺어 진정한 ‘소재 독립’을 이룬 대표적인 사례가 될 수 있을지 업계의 관심이 모아지고 있다.