에어리퀴드가 솔베이그룹과 손잡고 차세대 세정가스로 각광받고 있는 불소(F₂)사업에 본격적으로 뛰어든다.

에어리퀴드는 F₂플랜트 건설과 제조에 있어 세계적인 기술력을 보유한 솔베이와의 합작투자를 통해 불소계 세정 가스 솔루션을 공급할 계획이라고 지난달 27일 밝혔다.

에어리퀴드는 솔베이가 보유하고 있는 불소 플랜트 관련 건설과 소유 및 운영에 관여하고 나아가 가스판매 등도 추진할 전망이다. 합작회사 설립에 관한 구체적인 사항들은 아직 미정이다.

이로써 에어리퀴드는 캐리어와 특수가스 및 제조 공정에 사용되는 전구체 물질 외에도 불소계 세정 가스 솔루션을 갖추게 됐다.

최근 대형 평판 디스플레이 및 실리콘 박막 태양전지 제조를 위한 세정가스의 수요가 급증하고 있다. 그동안 세정가스로 온실가스인 NF₃(삼불화질소)가 주로 사용돼 왔으나 이산화탄소(CO₂)보다 지구온난화지수(GWP)가 1만7,000배나 높아 전세계적인 규제의 움직임이 있다.

반면 F₂는 지구온난화지수가 없어 친환경적이며 NF₃보다 비용효율적이어서 대체물질로 각광받고 있다. 솔베이는 국내에서 울산 온산공장내에 100톤규모의 고순도 F₂가스 생산 시험 및 시연 목적을 위한 온사이트 플랜트 가동을 올해 시작할 예정이다.

에어리퀴드 경영위원회 멤버인 프랑수아 다치스(Francois Darchis)는 “이번 합작 투자를 통해 에어리퀴드는 급성장중인 이 전자시장에서 입지를 확대하게 될 것”이라며 “우리 고객들을 위해 온실가스를 배출하지 않는 대안적인 세정 솔루션을 개발함으로써 환경 보존을 위한 그룹의 노력을 재차 입증할 것”이라고 밝혔다.

솔베이 그룹 화학물질 부문 상무이자 경영위원회 멤버인 빈센트 드 꾸이퍼(Vincent De Cuyper)는 “이번 파트너십은 세정 가스에 대한 전세계적인 수요 증가를 해소하는 데 도움이 될 것”이라며 “전자제품 관련 가스 생산부문의 리더인 에어리퀴드가 가진 시장 경험 및 노하우와 솔베이가 가진 독점적인 혁신 모듈 기술이 결합돼 두 회사의 고객들에게 상당한 경제적 효용을 가져다 주는 동시에 환경 보존에도 일조하게 될 것”이라며 합작투자에 대한 의의를 설명했다.