▲ ‘세미콘 코리아 2025’에서 FRD 허광수 부사장(中), 이병삼 이사(右), 류승현 과장(左)이 회사의 제품과 기술을 소개하고 있다.

FRD가 특수가스 합성·정제 능력을 기반으로 반도체용 특수가스 제품군 확대와 글로벌 시장 공략에 적극 나선다.

반도체용 특수가스 전문제조업체인 ㈜에프알디(FRD, 대표 박규홍)는 지난 2월 19일부터 21일 서울 코엑스에서 개최된 ‘세미콘 코리아 2025’에 참가했다.

지난 2013년 설립된 FRD는 충북 진천에 2곳의 생산공장을 구축하고 △아산화질소(N2O) △이산화탄소(CO2) △중수소(D2) △암모니아(NH3) 등 고순도 가스와 엑시머 레이저 가스, 헬륨, 제논(Xe), 크립톤(Kr) 등 희귀가스를 생산·공급하고 있다. 또한 △육불화부타디엔(C4F6) △이산화황(SO2) △디플루오르메탄(CH2F2), 포스핀(PH3) 등 특수가스와 사염화 티타늄(TiCl4) 등 전구체도 공급 중이다.

FRD는 정부의 국책과제를 수행하면서 특수가스 합성·정제 능력을 강화하고 있다. 그간 △제논·크립톤 고순도 가스화 기술개발 △반도체 및 의료용 고순도 N2O 가스 정제 기술개발 △고순도 삼불화붕소를 이용한 디보란 합성 및 정제 공정 개발 등을 추진해왔다. FRD는 탄소중립 요구에 따라 N2O, NF3 등 온난화지수가 높은 가스를 대체할 수 있는 특수가스를 개발 중이다.

FRD는 SK하이닉스에 엑시머 레이저 가스, 일본 Kioxia에 제논·크립톤 등을 공급한 이력이 있으며, 이외에도 중국과 대만에도 특수가스를 공급 중이다. 향후 대만시장 진출을 확대하기 위해 현지 사무실을 설립할 예정이며, 베트남 지사를 구축해 베트남 공략과 아세안 시장 영업마케팅을 진행할 계획이다.

이밖에도 반도체 제조 공정 중 발생하는 정전기로 인한 수율 저하가 업계의 이슈로 부각되면서 FRD는 이러한 문제를 해결할 수 있는 대전방지 복합소재를 개발했다. 정전기의 발생원인은 반도체 산업에 사용되는 소재인 불소 수지 때문인데, FRD는 불소 수지내 탄소나노튜브(CNT)를 첨가해 정전기 발생을 억제하고 물성의 저하가 없는 복합소재를 개발했다.

개발한 복합소재는 기존 불소 수지의 물성을 유지하고 정전기 방지 및 내구성 등이 타사 제품대비 우수하며, 원료·제품 등 다양한 형태로 공급이 가능하고 고객이 원하는 크기로 가공 납품이 가능한 것이 특징이다.

FRD 이병삼 이사는 “특수가스 정제·믹싱 능력을 기반으로 국내 뿐만 아니라 일본, 중국과 대만, 베트남에서도 판매처를 확보했다”며, “지속적인 연구개발과 적극적인 글로벌 시장 진출을 통해 세계적인 가스기업으로 발돋움 하겠다”라고 밝혔다.