■우리나라 반도체 산업의 성장과 함께 경쟁력 있는 회사로 나아가고 있는 ‘엠케미칼’에 대해 함께 알아볼까요?

■전구체를 자체 기술력으로 개발해 많은 특허 기술을 보유한 ‘엠케미칼’은 글로벌 안전 환경과 품질관리 시스템을 도입하여 세계 최고 수준의 제품을 공급하고 있어요.

*전구체: 배터리에서의 전구체란 양극재가 되기 이전, 양극재의 원료가 되는 물질을 뜻함

또한, 다년간의 기술력을 가진 탄탄한 임직원들과 함께 반도체 공정 현장에서 필수적으로 요구되는 품질의 제품 제조 현장을 구축하여 체계적인 생산을 이루고 있어요.

■연혁

▷1999.10 메카로닉스 창업

▷2015.01 ‘㈜메카로닉스’에서 ‘㈜메카로’로 사명 변경

▷2016.04 반도체 DRAM Capacitor용 신규 High-k Precursor 양산화 성공

▷2017.12 코스닥 상장

▷2022.12 머크 인수합병

▷2022.11 엠케미칼 법인 분리

■주력 제품 소개

▷TiCl₄: 티타늄과 염소 원소로 이루어진 이온적인 화합물

티타늄의 중요한 중간체로 사용되며, 산업적으로는 금속 티타늄의

생산과 다양한 화학반응에서 촉매로 사용돼요.

▷CpZr, CpZb(O): DRAM 소자(素子)의 지속적인 고집적화를

위해 다양한 물질들이 연구 중

소자 크기가 작아짐에 따라 콘덴서 부피가 작고 높은 유전율을 가지는

새로운 유전물질의 개발이 요구되고 있어요.

■소부장 R&D 현황

[총괄] 반도체 공정용 기능성 세라믹금속박막

형성용 ALD 전구체 기술개발

-반도체 공정용 기능성 세라믹, 금속 박막의 ALD 공정을 위한 신규 전구체 개발

-박막 소재용 고내열성, 고증기압, 고순도 전구체 대량 합성기술 개발

-ALD 공정 검증평가 및 박막특성 평가

▷사업기간: 2020.04.01.~ 2024.12.31.

[1세부] 반도체 DRAM/Flash 및 비메모리 소자 공정용

초고유전 박막 ALD 전구체 기술 개발

▷참여기업: 오션브릿지(주), 한국생산기술연구원, 한국화학연구원, 한양대학교

[2세부] 고집적 반도체 증착식각공정 장비용

고내식성 세라믹 ALD 전구체 및 핵심 부품 개발

▷참여기업: ㈜포인트엔지니어링, 엘케이켐, 한국세라믹기술원, 한양대학교, 연세대학교

[3세부] 반도체 배선 공정용 금속박막 ALD 전구체 기술개발

▷참여기업: ㈜엠케미칼, 한국화학연구원, ㈜주성엔지니어링

■R&D를 통한 효과

①기업

-수요기업의 요구사항에 적합한 신규물질을 개발할 수 있어요.

-기술의 융복합을 통해 중소기업 연구개발의 한계를 극복할 수 있어요.

②산업

-R&D에서 개발된 전구체에 대한 특허와 공정 노하우를 확보할 수 있어요.

-국내 전구체 산업의 활성화에 기여하고 배터리 산업의 글로벌 시장 확장에

촉매가 될 수 있어요.

③수요기업

-삼성, 하이닉스 등의 수요기업은 개발된 물질을 활용하여

우수한 신제품을 개발할 수 있어요.

■고객사의 생산성 향상에 크게 기여하며

상생할 수 있는 최고의 파트너 회사로 거듭나고 있는

‘엠케미칼’ 앞으로의 행보도 기대해 주세요!