▲ 어플라이드 머티어리얼즈 AIx 플랫폼

재료공학 솔루션 분야 글로벌 선도기업 어플라이드 머티어리얼즈(이하 AMAT)가 빅데이터와 AI를 기반으로 하는 혁신 플랫폼 ‘AIx’을 27일 발표했다.

액셔너블 인사이트 액셀러레이터(Actionable Insight Accelerator)를 의미하는 AIx는 반도체공정 실시간 파악과정에서 웨이퍼에서 개별 칩에 이르기까지 수백만 측정 및 수천개 공정 변수를 최적화한다.

이는 AMAT의 모든 공정 장비, 전자빔(eBeam)계측 시스템, 검사 시스템과 호환되며 랩(Lab)에서 팹(Fab)까지 확장이 가능하다. 엔지니어들에게 연구개발 과정의 혁신 레시피를 제공해 대량생산(HVM)을 가속화한다.

로직반도체와 메모리 반도체 모두에서 PPACt(전력·성능·공간비용·출시소요기간)을 향상 시켜 현재 업계에서 사용되고 있다.

AIx플랫폼은 △챔버 AI(Chamber AI) △온보드 계측 △인라인 계측 △어플라이드 PRO(AppliedPRO) △디지털트윈 △컴퓨팅 자원 등으로 구성된다.

챔버 AI는 AMAT공정 챔버를 위한 새로운센서와 머신러닝 알고리즘이며 엔지니어들에게 변수 애널리틱스를 실시간 제공한다. 이외에도 개별 챔버와 툴의 최적화, 시스템 전반 매칭 가속화의 어플라이드 프로, 레시피 개발 가속화 매칭과 램프 이전을 향상, 양산결과와 수율을 최적화하는 디지털 트윈 등이 포함되었다.

프라부 라자 AMAT 반도체 제품그룹 부사장 겸 총괄 매니저는 “AIx는 개발시간을 절반으로 줄이고 공정 윈도우를 삼분의 일로 향상시킨다는 목표로 모든 역량을 연결한다. 업계 당면 과제를 해결하는 완전히 새로운 종류의 툴킷(toolkit)을 엔지니어에게 제공하기 위해 3년간 개발했다”고 말했다.

댄 허치슨 VLSI 리서치 최고경영자 겸 회장은 “AIx는 기존 방법에서 벗어나 3D이미지, 인시츄(In-situ) 계측과 센서를 결합, 유효 데이터로 정제한다. 이 알고리즘이 생산단계에 적용돼 실시간 챔버 제어와 함께 생산 공정을 제어할 것으로 기대된다”고 밝혔다.