전선규 ㈜미코 대표가 반도체 생산장비 핵심부품 및 세정·코팅 기술 국산화로 대한민국 반도체 경쟁력 향상에 기여한 공로로 동탑산업훈장 수훈이라는 영예를 안았다.

27일 서울 코엑스 인터콘티넨탈 호텔에서 열린 ‘제9회 반도체의 날’ 행사에서 동탑산업훈장을 받은 전선규 대표는 지난 1996년 코미코(Korea Micro Contamination)라는 이름으로 회사를 설립, 반도체 생산장비 부품 세정·코팅 사업을 시작했다. 이를 통해 고가의 소모성 반도체 장비 부품의 수명을 연장시키고 반도체 장비 부품의 효율을 극대화 시켰다. 지난 2001년부터 2015년까지 미코의 기술을 통한 원가절감 효과는 약 10조원에 달하는 것으로 추정되고 있다.

부품을 세정·코팅하며 쌓아온 노하우를 바탕으로 회사는 AlN(질화알루미늄), Y₂O₃(산화이트륨) 등 고부가 첨단 세라믹소재 원천기술로 부품을 개발해 왔으며 현재 1천종의 반도체 핵심부품 기술과 100여건의 특허를 보유하고 있다. 지난 2002년 1월 코스닥에 상장했으며 2013년엔 미코로 사명을 변경하며 첨단세라믹 소재부품 기업으로 재도약에 나섰다.

미코는 수입에 의존하던 반도체 생산장비 부품을 국산화하고 있는데 대표적인 제품이 플라즈마 화학 증착 장비(PE-CVD)용 세라믹 히터(AlN Heater)와 세라믹 정전척(ESC)이다. 세라믹 히터는 반도체 공정 중 챔버 내에서 웨이퍼를 증착할 때 챔버의 온도를 균일하게 유지하는 역할을 하는데 미코가 시장에 진출하기 이전까지 수입의존도가 90%에 달하고 있어 국산화가 시급했다.

미코는 지난 2011년 국내최초로 세라믹 히터를 국산화하고 삼성전자 1차 벤더인 원익IPS, 대만 TSMC 등에 공급했으며 지금까지 누적 판매량이 2천대를 돌파할 정도로 국내외에서 기술력을 인정받고 있다. 특히 열선이 중간과 바깥부분에 두군데 설치돼 있어 발열시 온도편차가 거의 없는 ‘Two Zones’이라는 세라믹 히터를 개발하며 주목받았다.

에칭공정 정전기 방지용으로 사용되는 세라믹 ESC(정전척)도 자체 국산화한 세라믹 시트를 활용한 제품으로 지난 2004년 국내 최초로 국산화에 성공했다. 주력제품인 300㎜ ESC외에도 200㎜ ESC도 교체수요로 인해 매출이 꾸준히 늘고 있다. 이를 바탕으로 미코는 2015년 5백만불 수출탑을 수상한 바 있다.

미코는 신성장아이템으로 세라믹 소재부품 수요가 많이 적용되면서 성장하고 있는 친환경 수소연료전지 사업에 집중하고 있다. 회사는 지난 2011년부터 경동나비엔과 함께 2.5㎾급 SOFC(고체산화물 연료전지)시스템과 단전지 및 스택을 개발 완료했으며 사업화를 진행중이다. 의료기기용 부품시장도 신규 아이템 중 하나인데 지멘스와 전력적 제휴를 맺고 초음파 진단 영상기 송수신 부품(UTC)을 공급 중이다.

이밖에도 전선규 대표는 국내 세라믹 소재부품 산업계의 발전을 위해 지난 2013년부터 한국파인세라믹스협회장을 맡아 활동 중이며 올해 3년 더 연임한 바 있다.

전선규 대표는 “반도체 생산장비용 부품을 넘어 세라믹, MEMS 등 핵심 요소 기술을 바탕으로 고객의 미래가치를 창조하는 글로벌 소재부품 전문기업으로 거듭나기 위해 노력하겠다”고 밝혔다.