반도체 장비 간 통신표준이 한글화돼 업무 생산성 및 편의성이 크게 향상될 것으로 기대되고 있다.

SEMI(국제반도체장비재료협회)가 최근 반도체 장비간 통신 구축을 위한 국제표준의 ‘한글본’을 공식 발간한다고 23일 밝혔다.

이번 한글본 발간은 한국반도체산업협회와 공동 추진된 ‘차세대 반도체 장비 및 소자의 표준화 기술개발 사업’의 일환으로 진행됐다.

올해 최초로 한글화한 국제표준은 한국 정보 및 제어 기술위원회(Korea Information & Control Technical Committee)가 SEMI 소프트웨어 표준 가운데 국내 반도체 업계의 활용도가 높은 9개 표준을 선정해 한글화했다.

그간 국내 반도체 업계들은 영문버전의 SEMI 표준을 그대로 사용함에 따라 국제표준의 정확한 이해와 활용에 많은 애로가 있었으나, 이번 국제표준의 한글화로 오적용 사례를 예방하고 나아가 업무 생산성 및 편의성도 크게 향상될 것으로 기대하고 있다.

또한 국제표준의 활용을 확대하기 위해 활용도가 높은 국제표준을 추가적으로 선정해 한글화 작업을 추진할 예정이다.

한편 지난 7월 한국 정보 및 제어 기술위원회가 발의한 반도체 제조공정자동화에 관한 표준 E94 개정안이 국제표준으로 채택됐다.

이는 올해 1월 반도체 장비 간 통신 소프트웨어 기술 표준(SEMI E5-0712)에 이어 두 번째로 국내 반도체 공정기술이 국제표준으로 채택된 것이다.

E94 표준 개정은 수율 및 생산성에 직접적인 영향을 주는 캐리어를 변경할 시 발생 가능한 제약조건을 바꿔 설비단계에서 발생하는 불필요한 대기시간의 단축이 목적이다.

개정안을 제안한 삼성SDS의 김형수 책임은 “이번 개정안이 적용되면 설비가동률 상승 및 반도체 생산성 증대에 큰 효과를 낼 것으로 기대된다”고 밝혔다.