Update2024.05.06 (월)
원익아이피에스가 탄소 함유 박막 관련 특허를 취득했다.
지난 1일 원익아이피에스가 공사한 바에 따르면 이번에 획득한 ‘탄소 함유 박막을 증착하는 박막 증착 장치의 건식 세정 방법’ 특허는 탄소 함유 박막을 증착하는 증착 장치의 내부를 세정하는 방법으로 증착장치를 인시츄(in situ) 클리닝해 생산성을 향상시킨 방법이다.
원익아이피에스는 이번에 취득한 특허가 자사의 반도체 장비의 경쟁력을 더욱 강화시켜 줄 것으로 기대하고 있다.
