반도체용 장비 메이커인 원익IPS(대표이사 이문용)가 플라즈마 장치 및 플라즈마 측정 장치에 대한 특허를 지난 19일 획득했다.

원익IPS가 획득한 특허는 플라즈마를 측정하는 플라즈마 측정 장치 및 이러한 플라즈마 측정 장치가 설치된 반도체 증착 장치에 관한 것이다. 회사는 생산성을 높이기 위해 이 기술을 반도체 장비에 적용할 예정이다.

이와 함께 원익IPS는 삼성전자에 반도체 장비 213억2,900만원어치를 납품하기로 계약했다고 지난 20일 밝혔다.

이번 계약은 지난해 매출인 1,731억 대비 12.3%에 해당하는 금액이다.

회사는 이번 계약물량을 자체 생산해 내년 2월28일까지 납품할 예정이다.