에어프로덕츠(AP)는 지난 12일 자사 울산 공장의 삼불화질소(NF₃) 생산능력을 2배 이상으로 확대한다고 밝혔다.

이에 따라 회사의 국내 NF₃생산능력은 기존의 연산 500톤에서 1,000톤으로 확대되며 신규 증설 설비는 내년 하반기 생산을 개시할 것으로 기대된다.

NF₃는 반도체, 박막트랜지스터 액정표시장치(TFT-LCD), 박막태양전지 제조공정상 챔버 세정가스로 최근 LCD와 대구경 웨이퍼 채용이 확대되면서 챔버 대형화로 수요가 확대돼 왔다.

회사는 세정용 가스로서의 NF₃의 용도를 개척하고 30년 이상 안전하게 생산·공급해왔다.

AP 전자사업총괄을 맡고 있는 웨인 미첼 부사장은 “시장에서 최근 NF₃ 공급이 타이트해진 가운데 대형 OEM 생산자들이 차세대 공정에 NF₃ 적용함에 따라 회사의 기존 인프라를 확장할 때라고 판단했으며 이는 비용효율 증대에도 기여할 것”이라고 말했다.

또 그는 “챔버 세정 사업에 최선을 다하고 있으며 최신 소비재 가전기기 생산에 필요한 제품의 개발과 핵심고객들과의 동반성장을 계획하고 있다”고 강조했다.

회사의 울산 NF₃공장은 지난 2008년부터 연 500톤 가량의 생산능력을 갖추고 있으며 국내에서는 OCI머티리얼즈, 후성에 이어 3위권을 지켜왔다.

최근 연산 400톤급으로 최하위권에 머무르던 효성이 캐파를 800톤으로 확대하며 국내 2위로 도약했으나 이번 울산 공장 증설로 AP가 다시 국내 NF₃ 생산능력 2위 자리를 가져왔다.

전 세계 총 생산량에서도 AP는 기존의 연 2,700톤에 500톤을 추가, 3,000톤을 넘어서며 OCI머티리얼즈에 이어 단독 2위를 차지하게 됐다.

신소재경제
김성준 기자 sj@amenews.kr