에어프로덕츠(AP)는 지난 7일 반월에 위치한 신규 전자소재 공장 시운전을 마치고 성공적으로 가동에 들어갔다고 밝혔다.

회사는 새 공장에서 생산되는 제품이 반도체 제조사의 차세대 디바이스 개발에 기여할 것으로 내다보고 있다.

최근 반도체 업계에서는, 반도체 선폭이 점차 미세해지면서 열소모비용(thermal budget, 웨이퍼의 온도를 가공 온도까지 상승시키는 데 걸리는 시간과 고온에서 가공된 웨이퍼의 온도를 상온으로 하강시키는 데 걸리는 시간)이 낮으면서도 나노미터 스케일에 쓰일 수 있는 새로운 절연체에 대한 요구가 증가하고 있다.

회사는 반월 신공장에서 바로 이 같은 요구에 부합하는 새로운 절연체를 폭넓게 생산할 수 있다고 설명했다.

회사 전자사업부 기술담당 존 랭건 이사는 “‘AP-LTO’, ‘AP-LTN’ 시리즈와 같이 반월공장에서 생산되는 제품들은 ALD(원자층증착), PEALD(플라즈마ALD), CVD(화학기상증착)를 통해 스페이서, 희생막, 보호층, 식각정지층, 확산방지막 등을 포함한 다양한 새로운 공정들에서 SiN₂, SiO₂막 증착을 가능하게 할 것”이라고 말했다.

회사는 신규 공장의 제품은 휴대용 전자제품에 쓰이는 낸드플래시, DRAM, 스마트폰 등과 같은 통신관련 분야에 쓰이며 대부분의 경우 장비 및 반도체 제조업계 선도 기업과 공동개발되고 있다고 밝혔다.

회사 전자사업부 총 책임자인 코닝 페인터부사장은 “성장세를 보이고 있는 스마트폰, 태블릿 PC 등과 같은 최첨단 휴대용 장치 개발에 필요한 차세대 소재에 투자하게 돼 기쁘게 생각한다”며 “계속해서 반도체, TFT-LCD, 태양광 분야에서 회사의 진보된 기술과 고객과의 협력을 통해 선도적인 공급 업체로서의 위치를 다져 나갈 것”이라고 말했다.

지난 1940년 창립된 AP는 대기가스, 공정용 특수가스, 고기능성 화학제품, 장비, 서비스 등 전 세계 산업·에너지·기술 및 헬스케어 분야에서 두각을 나타내고 있다.

특히 반도체 소재, 정제수소, 가정용 헬스케어 서비스, 액화 천연가스, 첨단 코팅제 및 접착제 분야 등 주요 성장 시장에서 선도적인 위치에 있다.

2010 회계년도 기준 매출액은 90억달러로 전 세계 40여개국에서 1만8,300여명의 직원들이 종사하고 있다.
회사는 지난 2009년 3월 경기도와 반월·시화산업단지에 대한 5,000만달러 규모의 추가 투자에 대한 양해각서를 체결한 바 있다.