린데코리아(대표 브렛딕슨킴버)의 화성 ASU(공기분리장치) 플랜트가 최근 본격 가동에 돌입했다.

기존 기흥공장에 3배에 달하는 생산능력을 보유한 회사의 화성공장은 액상 질소(N₂) 및 산소(O₂)의 1일 생산능력이 각각 350톤, 400톤급이며 저장능력은 1만톤급인 것으로 전해졌다.

이달 초부터 생산에 들어간 이 공장은 당초 장기공급 계약을 맺은 삼성전자의 수요 추이에 따른 ASU 증설계획에서 단일플랜트 생산능력을 확충해 공급량을 맞추는 방향으로 전환된 것으로 알려졌다.

회사의 이번 화성공장 가동에 따라 기흥공장의 가동은 잠정중단된다.

삼성전자 화성공장에 질소, 산소 등을 공급해 온 린데 기흥공장은 질소 26,000N㎥/h, 산소 9,000N㎥/h, 아르곤(Ar) 350N㎥/h의 생산능력을 가지고 있다.

이 밖에도 회사는 1,200N㎥/h급 수소플랜트를 통해 삼성전자에 LED 공정용 수소(H₂)를 공급할 예정이다.

이와 관련 회사는 지난해 경기도 용인에 LED 제조공정용 고순도 수소가스 제조시설의 건설계획을 밝힌 바 있다.

4년간 3,000만달러를 투자하는 것으로 계획된 이 설비는 700N㎥/h급 수소발생기 2기가 설치돼 총 1,400N㎥/h의 생산규모를 갖추게 되며 기존의 천연가스 개질방식과는 다른 공법을 할 가능성이 큰 것으로 알려지면서 업계의 관심을 끌고 있다.