일본 칸토덴카가 지진 영향으로 생산을 중단했던 삼불화질소(NF₃) 공급을 재개했다.

일본 화학공업일보는 회사가 당초 내달로 계획되고 있던 군마현 시부가와공장의 정기보수를 앞당겨 실시, 최근 작업을 완료하고 생산재개에 들어갔다고 14일자로 보도했다.

향후 가동률을 점차 올려 이달 중으로 생산을 정상 수준까지 회복시킨다는 계획이다.

또 회사와 수요처에 의한 재고균형 조정을 통해 수급에 대한 영향을 최소화하는 한편 NF₃ 이외의 육불화황(SF₆), 사불화탄소(CF₄) 등 기타 불소계 특수가스도 생산시설 정기보수를 앞당겨 출하를 순차적으로 재개한다는 방침이라고 신문은 전했다.

한국의 OCI머티리얼즈(옛 소디프신소재), 미국의 에어프로덕츠, 일본의 칸토덴카가 세계 시장 선두 그룹을 이루고 있는 NF₃는 주요 용도인 반도체, LCD패널 제조공정의 세정수요가 지난해부터 확대기조를 보이고 있으며 박막형을 중심으로 태양전지 셀 제조공정에서도 세정용 등의 수요가 성장하고 있는 ‘핫 아이템’.

이런 가운데 발생한 지난달 대지진으로 칸토덴카는 특수가스 분야 주력 생산시설인 시부가와공장의 조업을 일시 중단했다.

건물과 제조설비 피해는 경미한 것으로 전해졌으며 회사는 지진 후에도 보안운전을 유지하는 동시에 견조한 수요에 대한 안정적인 공급을 유지하기 위해 작업을 서둘러 왔다.