▲ 반도체 제조용 EUV 노광장비

정부가 반도체 초미세 공정 핵심 장비인 EUV(극자외선) 노광장비의 고압가스 안전관리 규제를 합리화한다. 이에 따라 EUV 장비 도입 기간은 최대 25일 단축돼 국내 반도체 생산라인 구축과 초격차 경쟁력 강화에 속도가 붙을 전망이다.

산업통상부는 2일 국무회의에서 글로벌 안전기준을 충족한 EUV 노광장비를 기존 ‘고압가스 제조시설’이 아닌 ‘특정설비’ 기준으로 관리하는 내용을 담은 ‘고압가스 안전관리법 시행령’ 일부개정안이 의결됐다고 밝혔다.

이번 제도 개선으로 EUV 장비 도입 기간은 장비당 최대 25일 단축되고, 해외 공인검사기관 내압·기밀 검사비용도 장비당 약 5억원 절감될 것으로 예상된다. 이를 통해 국내 반도체 기업들이 첨단 제조장비를 적기에 도입하고 신속히 가동함으로써 우리 반도체 산업의 초격차 유지에 기여할 것으로 기대된다.

이번 개정안의 핵심은 반도체 제조용 EUV 노광장비의 안전관리 체계를 기존 ‘시설 단위 규제’에서 ‘제품 중심 관리체계’로 전환한 데 있다.

EUV 노광장비는 파장 13.5nm 극자외선을 활용해 웨이퍼에 초미세 회로를 구현하는 반도체 핵심 장비다. 현재 네덜란드 ASML이 사실상 글로벌 시장을 독점 공급하고 있으며, AI 반도체와 HBM, 차세대 메모리 경쟁이 심화되면서 장비 확보와 조기 가동의 중요성이 더욱 커지고 있다.

그동안 EUV 장비는 내부에 고압가스 배관과 압축장치가 포함돼 있다는 이유로 ‘고압가스 제조시설’로 분류돼 왔다. 이에 따라 장비를 설치할 때마다 기술검토와 제조·변경허가, 중간검사, 완성검사 등을 반복 수행해야 했으며, 검사 절차 장기화와 고비용 부담이 업계 애로로 지적돼 왔다.

특히 중간검사의 경우 해외 공인검사기관이 수행하는 내압·기밀검사 절차가 포함돼 장비당 약 5억원 수준의 검사비용이 발생했다. 첨단 공정 경쟁이 치열해지는 상황에서 EUV 장비의 적기 도입과 생산라인 조기 가동이 반도체 기업 경쟁력을 좌우하는 핵심 요소로 부상하면서 업계에서는 제도 개선 필요성을 지속 제기해 왔다.

정부는 이번 시행령 개정을 통해 EUV 장비를 ‘특정설비’로 전환 관리하기로 했다. 이에 따라 기존 제조시설 기준에서 요구되던 중간검사가 생략되고 기술검토 기간도 대폭 단축된다.

개선안 적용 시 EUV 장비 검사 절차는 기존 ‘기술검토(15일)-허가(5일)-중간검사(7일)-완성검사(7일)’ 등 총 34일에서, ‘기술검토(2일)-허가(5일)-완성검사(2일)’ 등 총 9일 수준으로 단축될 전망이다. 업계는 장비당 최대 25일의 도입 기간 단축과 함께 약 5억원 수준의 검사 비용 절감 효과가 가능할 것으로 보고 있다.

산업부는 이번 제도 개선이 단순 규제 완화를 넘어 글로벌 기준에 부합하는 안전관리 체계 고도화라는 점에도 의미가 있다고 설명했다.

정부는 EUV 장비를 특정설비로 지정하는 대신 3년 주기 공장심사와 종합공정검사를 실시해 제조사의 제조공정과 품질관리 체계를 검증할 계획이다. 이를 통해 기존과 동등 수준 이상의 안전성을 확보한다는 방침이다.

이번 개정안에는 EUV 장비 규제 개선 외에도 친환경·저위험 고압가스 설비 관련 규제 합리화 내용이 함께 담겼다.

산업부는 시행규칙 개정을 병행해 액화 이산화탄소를 활용한 친환경 세정설비 검사기준을 신설하고, 위험성이 낮은 고반도체 핵심 EUV 장비 ‘특정설비’ 전환···도입 25일 단축

산업부, ‘고압가스 안전법 시행령’ 개정안 의결

액화 CO₂ 세정설비 안전관리자 자격 완화 등

정부가 반도체 초미세 공정 핵심 장비인 EUV(극자외선) 노광장비의 고압가스 안전관리 규제를 합리화한다. 이에 따라 EUV 장비 도입 기간은 최대 25일 단축돼 국내 반도체 생산라인 구축과 초격차 경쟁력 강화에 속도가 붙을 전망이다.

산업통상부는 2일 국무회의에서 글로벌 안전기준을 충족한 EUV 노광장비를 기존 ‘고압가스 제조시설’이 아닌 ‘특정설비’ 기준으로 관리하는 내용을 담은 ‘고압가스 안전관리법 시행령’ 일부개정안이 의결됐다고 밝혔다.

이번 제도 개선으로 EUV 장비 도입 기간은 장비당 최대 25일 단축되고, 해외 공인검사기관 내압·기밀 검사비용도 장비당 약 5억원 절감될 것으로 예상된다. 이를 통해 국내 반도체 기업들이 첨단 제조장비를 적기에 도입하고 신속히 가동함으로써 우리 반도체 산업의 초격차 유지에 기여할 것으로 기대된다.

이번 개정안의 핵심은 반도체 제조용 EUV 노광장비의 안전관리 체계를 기존 ‘시설 단위 규제’에서 ‘제품 중심 관리체계’로 전환한 데 있다.

EUV 노광장비는 파장 13.5nm 극자외선을 활용해 웨이퍼에 초미세 회로를 구현하는 반도체 핵심 장비다. 현재 네덜란드 ASML이 사실상 글로벌 시장을 독점 공급하고 있으며, AI 반도체와 HBM, 차세대 메모리 경쟁이 심화되면서 장비 확보와 조기 가동의 중요성이 더욱 커지고 있다.

그동안 EUV 장비는 내부에 고압가스 배관과 압축장치가 포함돼 있다는 이유로 ‘고압가스 제조시설’로 분류돼 왔다. 이에 따라 장비를 설치할 때마다 기술검토와 제조·변경허가, 중간검사, 완성검사 등을 반복 수행해야 했으며, 검사 절차 장기화와 고비용 부담이 업계 애로로 지적돼 왔다.

특히 중간검사의 경우 해외 공인검사기관이 수행하는 내압·기밀검사 절차가 포함돼 장비당 약 5억원 수준의 검사비용이 발생했다. 첨단 공정 경쟁이 치열해지는 상황에서 EUV 장비의 적기 도입과 생산라인 조기 가동이 반도체 기업 경쟁력을 좌우하는 핵심 요소로 부상하면서 업계에서는 제도 개선 필요성을 지속 제기해 왔다.

정부는 이번 시행령 개정을 통해 EUV 장비를 ‘특정설비’로 전환 관리하기로 했다. 이에 따라 기존 제조시설 기준에서 요구되던 중간검사가 생략되고 기술검토 기간도 대폭 단축된다.

개선안 적용 시 EUV 장비 검사 절차는 기존 ‘기술검토(15일)-허가(5일)-중간검사(7일)-완성검사(7일)’ 등 총 34일에서, ‘기술검토(2일)-허가(5일)-완성검사(2일)’ 등 총 9일 수준으로 단축될 전망이다. 업계는 장비당 최대 25일의 도입 기간 단축과 함께 약 5억원 수준의 검사 비용 절감 효과가 가능할 것으로 보고 있다.

산업부는 이번 제도 개선이 단순 규제 완화를 넘어 글로벌 기준에 부합하는 안전관리 체계 고도화라는 점에도 의미가 있다고 설명했다.

정부는 EUV 장비를 특정설비로 지정하는 대신 3년 주기 공장심사와 종합공정검사를 실시해 제조사의 제조공정과 품질관리 체계를 검증할 계획이다. 이를 통해 기존과 동등 수준 이상의 안전성을 확보한다는 방침이다.

이번 개정안에는 EUV 장비 규제 개선 외에도 친환경·저위험 고압가스 설비 관련 규제 합리화 내용이 함께 담겼다.

산업부는 시행규칙 개정을 병행해 액화 이산화탄소를 활용한 친환경 세정설비 검사기준을 신설하고, 위험성이 낮은 고압가스시설의 안전관리자 선임 기준도 현실에 맞게 완화할 계획이다.

액화 이산화탄소 세정설비는 물과 세제 대신 CO₂를 활용해 세탁하는 친환경 설비로, 폐수 처리와 배기 정화시설이 필요 없는 차세대 세정 기술로 주목받고 있다. 정부는 규제샌드박스를 통해 안전성을 검증한 만큼 관련 산업 활성화와 친환경 설비 시장 확대에도 도움이 될 것으로 기대하고 있다.

이와 함께 정부는 특정고압가스 사용신고시설의 안전관리 책임자 선임 기준을 기존 250kg 초과에서 500kg 초과로 완화하고, 소규모 공기충전시설에 대해서는 안전관리원 선임 의무를 제외하는 등 현장 부담 완화도 추진한다.

산업부는 이번 시행령 및 시행규칙 개정안을 차주 중 공포 후 즉시 시행할 예정이다.

김정관 산업통상자원부 장관은 “이번 법령 개정은 안전 확보와 첨단산업 경쟁력 강화를 동시에 달성하기 위한 대표적인 규제혁신 사례”라며 “앞으로도 글로벌 기준에 부합하는 합리적 안전관리 체계를 통해 첨단산업 투자를 적극 지원해 나가겠다”고 밝혔다.

압가스시설의 안전관리자 선임 기준도 현실에 맞게 완화할 계획이다.

액화 이산화탄소 세정설비는 물과 세제 대신 CO₂를 활용해 세탁하는 친환경 설비로, 폐수 처리와 배기 정화시설이 필요 없는 차세대 세정 기술로 주목받고 있다. 정부는 규제샌드박스를 통해 안전성을 검증한 만큼 관련 산업 활성화와 친환경 설비 시장 확대에도 도움이 될 것으로 기대하고 있다.

이와 함께 정부는 특정고압가스 사용신고시설의 안전관리 책임자 선임 기준을 기존 250kg 초과에서 500kg 초과로 완화하고, 소규모 공기충전시설에 대해서는 안전관리원 선임 의무를 제외하는 등 현장 부담 완화도 추진한다.

산업부는 이번 시행령 및 시행규칙 개정안을 차주 중 공포 후 즉시 시행할 예정이다.

김정관 산업통상자원부 장관은 “이번 법령 개정은 안전 확보와 첨단산업 경쟁력 강화를 동시에 달성하기 위한 대표적인 규제혁신 사례”라며 “앞으로도 글로벌 기준에 부합하는 합리적 안전관리 체계를 통해 첨단산업 투자를 적극 지원해 나가겠다”고 밝혔다.