▲ 국산화에 성공한 초순수 생산 설비 중 이혼교환수지 전경

반도체 핵심 공정에 필수적인 초순수(Ultra Pure Water)의 국산화가 실증 단계를 넘어 산업 현장 적용으로 이어졌다. 해외 의존도가 높았던 초순수 공급망 안정과 국내 물산업 경쟁력 강화의 전환점이 될 것으로 기대된다.

기후에너지환경부(장관 김성환)는 19일 SK실트론 구미사업장에서 ‘고순도 공업용수(초순수) 생산 국산화 기술개발 사업’의 성과물인 초순수 실증설비의 기술이전을 위한 성과 활용 협약식을 개최했다고 밝혔다.

이번 기술이전으로 생산된 초순수는 SK실트론 구미사업장의 반도체용 웨이퍼 생산공정에 투입된다. 국내 설계 기술로 생산된 초순수가 실제 반도체 제조 현장에 적용되는 첫 사례로, 국산 초순수 기술의 산업 현장 적용 가능성을 입증했다는 점에서 의미가 크다.

초순수는 물속 유기물과 이온, 미생물, 중금속 등 불순물을 극도로 제거한 물로, 반도체 웨이퍼 세정과 집적회로 제조 등 첨단산업 공정의 핵심 소재다. 특히 극미량 불순물까지 품질에 영향을 미치는 반도체 산업 특성상 안정적 공급체계 확보가 필수적이다. 하지만 최고난도의 수처리기술이 요구되어 그간 일본, 미국 등 해외기업이 생산 기술을 주도해 왔다.

기후에너지환경부는 이러한 기술 의존도를 낮추고 국내 물산업 경쟁력을 강화하기 위해 2021년부터 초순수 생산기술 국산화 사업을 추진해 왔다. ‘고순도 공업용수 생산공정 국산화 기술개발 사업’은 반도체급 초순수 생산기술 국산화와 산업폐수 재이용 기술 확보를 목표로 하며, 실증플랜트 국산화 3개, 성능검증 1개, 폐수 재이용 1개 등 총 5개 세부 과제로 구성됐다.

특히 이번 실증설비는 하루 2,400톤 규모 생산능력을 갖췄으며, 자외선 산화장치(유기물 제거)와 탈기막(용존산소 제거), 이온교환수지(이온제거 및 수질 고도화) 등 초순수 제조 핵심 설비의 국산화를 구현했다. 이를 통해 해외 기술 의존도를 낮추고 국내 물기업의 기술 경쟁력 확보에도 기여할 것으로 기대된다.

정부는 이번 성과를 계기로 초순수 생산 전 공정 국산화와 함께 하수 재이용 기반 초순수 생산 기술 개발도 확대할 계획이다. 기후위기에 따른 공업용수 부족에 선제 대응하고, 첨단산업 성장에 필요한 안정적 용수 공급체계를 구축하겠다는 전략이다.

김지영 기후에너지환경부 물이용정책관은 “이번 기술이전은 초순수 기술 국산화를 넘어 실제 산업 현장 적용으로 이어진 중요한 성과”라며 “반도체 등 첨단산업의 대규모 투자가 국내 물산업 성장으로 연결될 수 있도록 지원을 확대하겠다”고 말했다.