▲ 반도체 장비 챔버를 구성하는 주요 소재부품(출처:구미시)

구미시에 반도체 장비의 핵심인 챔버의 소재부품 국산화와 양산 촉진을 지원하는 테스트베드가 구축된다.

구미시는 지난 14일 산업통상부 주관 ‘반도체 장비 챔버용 소재부품 제조 및 검증 테스트베드 구축’ 공모사업에 최종 선정됐다고 17일 밝혔다.

이번 사업은 올해부터 2030년까지 총 400억원(국비 150억, 도비 75억, 시비 175억)이 투입되는 대규모 프로젝트다. 국내 유일 세라믹 소재 전문연구기관인 한국세라믹기술원(KICET)이 주관하고 한국산업기술시험원(KTL), 한국반도체산업협회(KSIA), 구미전자정보기술원(GERI)이 참여해 반도체 생산의 핵심 공간인 ‘챔버(Chamber)’ 관련 소재부품의 국산화와 기술 자립을 집중 지원한다.

챔버는 반도체 성능을 결정짓는 핵심 공정 공간임에도 불구하고 챔버 내 해당부품의 국산화율이 20% 수준으로 대외 의존도가 매우 높았다.

이를 개선하기 위해 구미시는 국내 최초로 300mm 웨이퍼 반도체 장비 챔버용 소재부품의 시제품 제조와 검증이 동시에 가능한 ‘반도체 챔버 기술지원센터’(연면적 3,000㎡)와 클린룸 시설을 건립할 계획이다. 주관기관인 세라믹기술원은 핵심 제조 공정 및 분석용 44종의 장비를 도입해 기업의 시제품 제작, 소재 분석, 공정 최적화, 애로기술 해결을 체계적으로 지원한다.

또한 산업기술시험원은 시제품 신뢰성 평가 및 검증장비를 구축하여 공인시험성적서 발행 등 제품의 객관적 성능 검증을 담당하고, 반도체산업협회는 수요-공급기업 간 매칭과 기술교류회를 등을 통해 전국 반도체 기업을 대상으로 사업 홍보 및 네트워크 확산을 주도한다. 구미전자정보기술원은 지역 기반의 기업 협업 모델을 발굴하고 현장 밀착형 지원을 제공한다.

이를 통해 지역 내 70여 개 반도체 소재·부품 기업들이 장비 활용과 기술지원으로 제품 상용화 기간을 단축하고, 수요기업 양산 대응력과 글로벌 경쟁력을 높일 수 있을 것으로 기대되고 있다.

이번 선정으로 구미시는 기존 ‘반도체 소재·부품 시험평가센터 구축사업’(396억원), ‘첨단방위산업용 시스템반도체 부품 실증기반 구축사업’(167억원)에 이어 반도체 특화단지의 세 번째 핵심 인프라 사업을 확보하게 됐다.

이에 따라 연구개발부터 제조, 시험·평가·검증까지 반도체 소재부품 지원체계를 갖추게 됨에 따라 반도체 공급망 핵심도시로서의 입지가 더욱 강화될 전망이다.

정성현 구미시장 권한대행은 “대한민국 반도체 공급망 경쟁력 강화를 이끄는 핵심 도시로 성장할 수 있도록 관련 산업 육성과 기업 지원에 행정 역량을 집중하겠다”고 말했다.