▲ 바스프의 혁신적인 포토리소그래피 산업용 고효율·저탄소 황색광 솔루션

글로벌 화학기업 바스프(BASF)가 첨단 반도체, 디스플레이 등 공정에 사용되는 형광등 및 LED 조명을 대체해 에너지 효율성을 크게 향상시킬 수 있는 기술을 개발했다.

바스프는 반도체와 인쇄회로기판(PCB), 디스플레이 제조, LED 생산, 태양광 에너지 등 포토리소그래피 기반 및 관련 산업용 공정에 적용할 수 있는 차세대 황색광 솔루션을 공개했다고 18일 밝혔다.

기존의 황색 형광등은 민감한 공정을 보호하기 위해 530nm 이하의 단파장을 차단하지만, 이러한 필터링 과정에서 에너지가 낭비된다. 반면 바스프의 새로운 솔루션은 흡수-변환(absorption-conversion) 메커니즘을 사용해 첨단 반도체 애플리케이션을 위해 530nm 이하 파장을 차단하는 등 유해한 파장을 차단할 뿐만 아니라, 이를 유용한 황색광으로 변환해 에너지 사용과 시스템 성능을 극대화한다.

또한 이 기술은 스펙트럼 청정성, 균일한 밝기, 시각적 편안함을 보장하며, 튜브, 패널, 방폭형 조명 등 기존 조명 기기에 원활하게 적용할 수 있다. 또한 현재 사용 중인 전력 및 열 관리 시스템과 호환돼 설치를 간소화하고 도입 리스크를 줄인다.

바스프의 신규 황색광 솔루션은 기존의 황색 형광등 및 LED 황색광 튜브 대비 낮은 전력 소비로 동일한 밝기를 구현해 전기 및 냉각 비용을 절감할 수 있고, 기존 형광등 또는 필터 기반 LED에서 바스프 솔루션으로 전환 시 에너지 사용량 25% 절감이 가능하다.

또한 △낮은 열 전달로 안정성 향상 및 수명 연장 △제한 물질에 대해 RoHS 및 REACH 규정 준수 △고온 신뢰성 조건에서도 검증된 뛰어난 열 안정성 △실제 반도체 공정에서 5년 이상 사용 후 성능 저하 없는 장기 신뢰성 등을 확보했다.

바스프 황색광 솔루션의 대표적인 적용 분야는 클린룸 조명, 리소그래피, PCB 검사 및 엄격한 단파장 제어가 필요한 기타 공정이다. 바스프와 파트너사는 고효율·저탄소 조명 환경 도입을 가속화하기 위해 샘플링, 현장 평가, 탄소발자국 분석을 포함한 기술 지원을 제공한다.