▲ 신소재경제가 주관한 ‘세미콘 타이완 2025 박람회’ 참관단이 대만 신주현에 있는 IEMC를 방문해 기념촬영을 하고 있다.소재부품 전문지인 신소재경제신문이 참관단을 꾸려 세계 최대 규모의 대만 반도체 전시회와 현지 반도체 특수가스 전문 기업을 방문해 최신 반도체 기술과 관련 소재 및 장비를 살펴보고, 국내 기업들의 반도체 관련 산업에 관한 신성장 동력 발굴을 위한 인사이트를 제공했다.
신소재경제신문은 지난 9월 10일부터 13일까지 3박4일의 일정으로 ‘세미콘타이완(SEMICON TAIWAN) 2025 박람회’ 참관단을 구성해 대만의 반도체 산업과 반도체 특수가스 산업을 시찰했다. 참관단은 반도체 산업 관련기업, 반도체에 사용되는 특수가스·산업가스, 기계 및 부품 등 관련 기업의 임직원 40여명으로 구성됐다.
이번 산업 시찰에서 참관단은 대만의 반도체 특수가스 전문기업 IEMC(Ion Electronic Materials Co., Ltd)와 MINYANG(MINYANG Special Gas CO.,Ltd)의 공장을 방문했다.
IEMC는 2016년 설립돼 ’17년 3분기 아르신(AsH3) 생산라인을 구축하고 ’18년 3분기에 신주공장을 완공해 삼불화붕소(BF3), 사불화게르마늄(GeF4) 생산라인을 구축했다. ’18년 4분기에는 ISO9001 인증을 획득하고 이후에는 기계식 음압 실린더의 개발을 완료해 특허를 출원했다. IEMC는 tsmc, UMC, PSMC 등 대만 반도체 기업에 특수가스를 공급하며 반도체 특수가스 전문기업으로서의 위상을 공고히 하고 있다.
IEMC는 △아르신(AsH3) △포스핀(PH3) △11b 농축 삼불화붕소(11B trifluoride) △사불화게르마늄(GeF4) 등의 도핑 가스와 △디실란(Si2H6) △디클로로실란(H2SiCl2) 등 증착 가스, F2/N2 혼합가스 및 레이저 가스 등을 취급하고 있다.
참관단이 방문한 IEMC 신주 공장에서는 다중 위험화학물질 저장·운송 자격과 자체 유해 화학물질 물류팀을 보유했으며 도핑·세척·증착 공정에 사용되는 다양한 특수가스 제조시설과 연구실을 갖췄다.
이어서 산업가스 전문기업인 MINYANG에 대한 소개가 이어졌다. 1991년 설립된 MINYANG 역시 TSMC와 PSMC를 비롯한 반도체 기업에 △아세틸렌(C2H2) △산소 △아르곤 △프로페인(C3H8) △희귀가스(제논, 네온, 크립톤) △삼염화붕소(BCl3) △헥사플루오로에탄(C2F6) 등의 산업가스를 공급하고 있다.
▲ 신소재경제 참관단이 IEMC의 Jeffrey CHENG 부사장으로부터 회사 소개를 듣고 있다.
▲ 신소재경제 참관단이 MINYANG의 ERIC YANG 사장으로부터 회사 소개를 듣고 있다.회사소개 이후, 참관단은 관계자의 안내에 따라 IEMC와 MINYANG의 공장 내부를 둘러보며 △생산·연구시설 △용기 보관소 △가스 충전탱크 △분석 장비와 실험실 등을 살펴봤다.
대만의 가스 생산시설과 설비들을 둘러보면서 신소재 참관단은 관계자와의 문답을 통해 기술적인 부분들을 살펴보고 대만과 한국 간의 지리적·규제적 여건 차이로 발생하는 차이점들에 대해 알아보는 시간을 가졌다.
▲ 신소재경제가 주관한 ‘세미콘 타이완 2025 박람회’ 참관단이 대만 신주현에 있는 MINYANG을 방문해 기념촬영을 하고 있다.
▲ 신소재경제 참관단이 MINYANG의 ERIC YANG 사장으로부터 공장의 시설 소개를 받고 있다. 양 기업들은 대만 반도체 산업의 견조한 특수가스 수요에 힘입어 생산시설을 강화하고 견고한 공급사슬을 구축해 글로벌 가스 공급업체로 성장할 계획이라고 설명했다.
이번 참관단에 함께한 한 참가자는 “글로벌 반도체 산업의 현재와 미래를 살펴보고 반도체 산업과 관련된 다양한 소재·장비·부품 기업들을 확인할 수 있었다”며, “이와 함께 규제와 여건 등의 차이로 발생하는 한국과 대만 가스 산업 간의 시설과 장비들의 차이점을 살펴볼 수 있었다”고 전했다.
▲ 신근순 신소재경제 편집국장(右)이 회사소개를 맡은 MINYANG의 ERIC YANG 사장에게 감사의 인사를 전하고 있다.