전 세계 반도체 생산기술의 트렌드를 한눈에 읽을 수 있는 초대형 반도체 장비·재료 전시회인 ‘제24회 세미콘 코리아(SEMICON KOREA 2011)’가 지난 26일부터 28일까지서울 코엑스에서 성황리에 개최됐다.

이번 행사는 어플라이드머티리얼즈(AMAT), 도쿄일렉트론(TEL), 에드워즈, 에어프로덕츠, 에어리퀴드, 솔베이 등 유수의 해외업체와 원익그룹, 주성, SKC솔믹스, 세메스를 비롯한 국내 업계 대표주자들까지 총 16개국 400여개사가 참가했다.

글로벌 반도체 장비 및 재료 시장을 이끄는 이들 기업이 선보인 최첨단 기술과 관련 장비·재료 제품을 통해 반도체 생산기술의 최신 동향과 향후 추이를 가늠할 수 있는 귀중한 기회가 됐다는 평가다.

전시회는 참가 기업 및 기관들의 제품 및 기술 전시 외에도 시장의 핵심 이슈를 다루는 다양한 컨퍼런스와 세미나가 마련돼 눈길을 끌었다.

전시회 첫날인 26일 진행된 기조연설에서 반도체 산업의 권위자 스탠퍼드대 니시 요시오 교수가 ‘VLSI 기술의 과거, 현재, 미래-기회와 도전’이라는 제목으로 급성장하고 있는 VLSI 기술을 소개해 참관객들의 큰 주목을 받았다.

또 △반도체기술의 산업동향을 전망하는 국제 기술 심포지엄인 SEMI 테크놀로지 심포지엄(STS) △이머징 산업분야인 MEMS/PE(Printed Electronics), 아날로그 반도체 데이터 변환 기술을 다룬 시스템 LSI △450mm, EUV, TSV를 아우르는 계측 및 검사 기술의 미래를 조망하는 MI(Metrology & Inxpection)포럼 등이 펼쳐졌다.

특히 국제경쟁력 강화와 산업활성화에 필수적인 국제표준을 다루는 ‘SEMI 스탠다드 프로그램’은 반도체산업 표준화에 대한 유용한 정보를 제공, 관계자들의 큰 호응을 얻었다.

이와 함께 다국적 장비업체들과 한국 부품공급업체의 파트소싱 전략 및 비즈니스 모델을 토론하는 ‘파트소싱 포럼’, 해외 소자업체와 국내 장비재료업체의 매칭프로그램으로 마련된 구매상담회 ‘Suppliers Search Program’도 마련됐다.

SEMI 관계자는 이번 전시회에 대해 “세계 1위를 점하는 메모리분야에 비해 관심이 부족했던 비메모리와 반도체 장비재료업계의 중요성을 부각시키는 한국 반도체산업의 최대 행사가 될 것”이라며 “국내 참가사들의 역량을 과시하는 이번 행사로 인해 해외진출의 기회도 대폭 늘어날 것으로 기대된다”고 말했다.

한편, 국제반도체장비재료협회(SEMI)가 지난 1987년부터 주최해 온 이 행사는 국내 최대 규모의 반도체 장비·재료 전시회로 반도체 소자, 장비, 재료분야 국내외 업체는 물론 관련 학계와 연구기관까지 한자리에 모이는 명실상부한 국내 반도체산업 최대 행사로 자리매김하고 있다.

◆주요 참가 기업

▷SKC솔믹스


지난 2008년 SKC에 인수된 SKC솔믹스는 산화알루미늄(Al₂O₃), 질화알루미늄(AlN), 석영(SiO₂), 실리콘카바이드(SiC) 소재의 반도체 공정용 부품과 관련 기술을 전시했다.

회사는 특히 기존의 구조세라믹 사업보다 태양광용 폴리실리콘 잉곳·웨이퍼에 역점을 두기로 하고 지난해 이 부문에 250억원 규모의 투자를 결정한 바 있다.

지난해 12월 평택공장에 60MW 규모의 폴리실리콘 잉곳 설비 추가증설을 발표한 회사는 오는 10월까지 설비 증설을 완료, 총 120MW급으로 생산능력을 확대해 올해 매출액을 지난 2009년 대비 4배를 웃도는 2,000억원까지 끌어올린다는 방침이다.

회사는 이번 1분기 내에 잉곳·웨이퍼 분야에서 매출이 가시화될 것으로 보고 올해 이 사업부문에 총력을 기울인다는 방침이다.

▷KCC
지난해 계열사인 아르케솔라(주)를 합병한 KCC는 ‘KCC솔라’라는 브랜드로 폴리실리콘에서 태양광 셀·모듈, 모듈용 소재 등을 출품했다.

회사는 특히 건축분야에 강점을 가지고 있는 회사 특성을 살려 BIPV시스템 전반을 아우르는 자사 기술력을 내세워 많은 참관객들의 주목을 받았다.

회사는 지속적으로 제기되고 있는 폴리실리콘 생산 차질설에 대해 ‘연내 안정화’ 전망을 내놨다.

지난해 2월 충남 대산 공장에 KCC-KAM 통합 연산 6,000톤 규모의 폴리실리콘 양산체제를 구축, 상업생산을 시작한 회사는 그중 절반에 해당하는 KCC 라인이 신공법 적용 과정에서 설비개선 작업에 따라 다소 생산성이 떨어진 것으로 설명했다.

이 역시 당초 계획대로 정상화가 진행 중이라며 ‘차질설’을 일축했다.

▷에어리퀴드
산업가스 분야 글로벌 톱 기업인 에어리퀴드는 국내 법인 에어리퀴드코리아를 통해 반도체 및 디스플레이 등 첨단 공정용 신소재와 관련 기술을 선보였다.

특히 그동안 국내 시장에서 산소(O₂), 질소(N₂) 등 일반 산업가스에만 사업영역이 국한된 것으로 인식돼 온 회사의 첨단 특수소재 기술력을 소개하는 데 역점을 뒀다.

회사가 이번에 소개한 제품 라인업 ‘ALOHA™’는 원자층 증착(Atomic Layer Deposition, ALD) 및 화학기상증착(Chemical Vapor Deposition, CVD) 공정용 소재와 전구물질을 아우르는 새로운 브랜드.

회사 측은 ALOHA™의 적극적인 마케팅 활동을 통해 그동안 일본 및 대만시장에 비해 크게 뒤져 있었던 국내 반도체 공정용 첨단소재 시장에서의 자사 위상을 끌어올리는 데 주력한다는 방침이다.<관련기사→ 6면>

▲ ▲원익쿼츠 대표 이문용 부회장이 자사 제품에 대해 설명하고 있다.. ▲원익쿼츠 대표 이문용 부회장이 자사 제품에 대해 설명하고 있다.

▷원익그룹

원익그룹은 원익머트리얼즈, 아토, IPS, 원익쿼츠 등 계열사가 공동부스를 마련해 참가했다.

계열사별로 각종 반도체용 특수가스 및 각종 정제장치, 반도체 및 태양전지, LCD·FPD 제조 공정용 증착장비와 식각장비, 관련 소재 등을 출품했다.

특히 석영유리 가공품 분야 국내 1위, 세계 시장 2위 기업으로 지난해 세라믹 부품 전문기업 세라코를 합병한 원익쿼츠는 회사의 새로운 신성장분야로 떠오른 세라믹 제품을 선보였다.

원익쿼츠 대표 이문용 부회장은 “쿼츠(석영)뿐만아니라 세라믹 분야도 강화하는 만큼 회사명도 기존의 원익쿼츠에서 세라믹을 아우를 수 있는 새 사명으로 변경하는 방안을 검토중”이라고 밝혔다.

▷에드워드

반도체·LCD 제조용 진공펌프 분야 세계 1위 기업인 에드워드는 반도체 공정용 장비에 사용되는 다양한 종류의 ‘진공펌프시스템’을 선보였다.

회사는 지난 2009년 한국법인인 에드워드코리아를 통해 천안 차암동 외국인 전용단지 내 천안3공장 건설에 돌입했으며 오는 5월경 준공행사를 가질 계획이다.

총 5만900㎡ 부지에 약 5,800만달러가 투입되는 회사의 천안3공장은 세계 반도체 제조용 건식펌프 시장의 50%를 점유하고 있는 에드워드가 차세대 전략제품인 G4펌프의 글로벌 생산기지로 육성한다는 방침을 밝힌 바 있다.

▷에버테크노

국내 최대 LCD제조 공정용 자동이송설비 메이커인 에버테크노(대표 정백운)는 자사의 반도체 제조관련 장비 등을 선보였다.

지난 2000년 충남테크노파크 내에서 직원 3명으로 시작한 회사는 충남TP 지원을 자양분삼아 성장을 시작했다.

현재 자동화시스템 외에도 반도체장비, LCD 장비 등의 개발과 설계에서 국제경쟁력을 갖춘 회사로 자리매김하고 있으며 지난 2009년에는 충남TP 출신 ‘7대 스타기업’으로 선정되며 크게 주목을 받은 바 있다.

특히 회사는 ‘칩 핸들러’ 부문에서 일본 시장에 이어 올해 중국 시장까지 진출할 계획이어서 향후 국제 무대에서의 활약이 기대된다.

▷아이원스(주)

반도체 및 LCD용 부품소재 전문기업 아이원스는 반도체·초고순도(UHP)가스·LCD·OLED 공정별 부품을 비롯해 최근 신사업 분야로 개척에 나선 환경사업 및 LED 부문의 관련 소재 및 부품 등을 전시했다.

지난 1993년 동아엔지니어링으로 출발, 자동차 및 미디어 관련 부품에 주력해 온 회사는 삼성전자, 삼성전기, LG디스플레이 등과의 협력을 통해 성장했다.

특히 최근 환경사업부 출범과 LED 부문 강화 등으로 녹생산업 분야로의 진출에 속도를 내고 있으며 지난해에도 삼성LED 조명·모듈 국내 총판대리점 계약, 에드워드 공식 파트너 계약, 일본 SUN-TECH 기술제휴 및 부품공급 계약 등을 체결하는 성과를 거둔 바 있다.

▷(주)로타렉스 루스테크

특수가스 장비 전문업체인 로타렉스 루스테크는 이번 전시회를 통해 각종 산업가스 관련 장비를 선보였다.
이날 최신 고순도 및 초고순도밸브를 비롯해 고압실린더용밸브, 초저온라인밸브 등의 각종 밸브와 레귤레이터, Fittings, 커넥터 등의 다양한 제품은 전시회를 찾은 많은 바이어들의 눈을 사로잡았다.

▷(주)퓨리텍

반도체 공정용 클린룸 소모품 전문기업 퓨리텍은 방진의류와 와이퍼, 방진글러브, 클린룸 용 문구류 등 다양한 클린룸 제품을 내놨다.

지난 1974년 동양상사로 설립된 이래 1984년 방진원단 국산화, 1993년 국내 최초 청정소재류 수출 100만불탑 수상 등 성장을 거듭해 온 회사는 지난 2000년 사명을 (주)퓨리텍으로 변경하고 미국, 중국 등을 중심으로 해외 판매망을 강화하며 업계를 선도하고 있다.

▷엘오티베큠

반도체 및 LCD 시장용 진공펌프를 개발, 제조, 판매회사 엘오티베큠도 참관객들의 시선을 끌었다.

회사는 2002년 7월 독일 기업인 라이볼트로부터 드라이펌프 사업을 인수한 후 12월 미국 피츠버그 생산라인을 천안공장으로 이전 완료하고 2003년 1월 천안공장에서 반도체 저전력 진공펌프인 듀라드라이(DuraDry) 1호기를 조립해 16대를 삼성전자에 최초로 납품하는 등 진공펌프의 국산화에 노력하고 있다.

주력제품인 DuraDry 시리즈는 현재 국내에 2,000대 이상 운용 되고 있으며 Screw 기술을 이용해 파우다 증착과 핸들링이 모두 용이한 것이 장점이다.

회사는 지난달 삼성전자와 4억8,300만원 규모의 반도체 공정용 건식진공펌프 공급계약을 체결한데 이어 지난 8일 56억원 규모의 계약을 체결하는 등 활발하게 사업을 진행 중이다.

▷동우화인켐

1991년 창립한 동우화인켐은 반도체용 고순도 Chemical의 자체 개발에 성공한 전자재료업계의 선두주자다.

회사는 반도체, TFT-LCD 제조 시 필수소재로 사용되는 고순도 Chemical, Etchant, 포토 레지스트(Photo Resist), 칼라필터 및 편광필름의 자체개발을 추진해 그간 전량 수입에 의존하던 제품의 국산화를 이뤘다.

OCI가 50%, 일본 스미모토화학이 40%를 합작해 출범한 동우화인켐은 1998년 스미토모화학의 자회사로 재탄생해 기술력을 바탕으로 소재 분야 전반에 걸쳐 사업을 진행 중이다.

회사는 태양전지 핵심소재 중 하나인 EVA시트 생산에 이어 LED칩 원료인 사파이어 웨이퍼 제조에 나서며 사업영역을 더욱 확장하고 있다.

△프리시스

프리시스는 반도체 핵심 분야인 고진공 장치와 LCD 관련 검사장치(MACMIC/MACRO) 등을 생산하고 있는 기업이다.

프리시스는 특히 진공컴포넌트 분야의 국산화에 나서 10년간 70여 기종의 진공밸브를 우리 기술로 만들어냈다. 이러한 기술력을 바탕으로 동부하이텍, 삼성전기, 삼성전자, 삼성SDI, 하이닉스, 성원 에드워드, 주성엔지니어링, 케이씨텍, 피에스케이 등에 제품을 공급 중이다.

회사는 또한 20억여원을 투자해 웨이퍼 두께를 30∼10㎛까지 줄일 수 있는 초박막화 장비인 웨이퍼시닝시스템(Wafer Thining System)을 지난해 12월 개발하는 등 첨단기술사업에 박차를 가하고 있다.