▲ ‘세미콘 코리아 2025’에서 (左부터) 로타렉스코리아 김문환 이사, 이미라 책임, 현창욱 팀장이 로타렉스코리아 아산공장에서 생산 중인 반도체용 초고순도(UHP) 가스 시스템 제품을 소개하고 있다.

베큠 제너레이터·소형 레귤레이터 韓 생산, 원가경쟁력·납기 대응 능력 강화

美·日·대만 등 수주 확대, 韓 연구진 개발 및 신제품 생산설비 투자 지속 증대

세계 1위 실린더용 특수가스 밸브 생산기업 로타렉스(Rotarex)가 반도체용 UHP(Ultra High Purity:초고순도) 가스 및 케미컬 시스템 토털 솔루션 제품군에 대한 국내 생산을 확장하며 고객사 편의성 및 가격 경쟁력 강화에 기여하고 있다.

로타렉스의 한국지사인 로타렉스코리아(지사장 구본남)는 2월19일부터 2월21일까지 서울 코엑스에서 개최된 세계적인 반도체 전시회인 ‘세미콘 코리아 2025’에 참가했다.

로타렉스는 국내 반도체 고객들과의 협업 강화와 적기 공급을 위해 충남 아산 탕정일반산업단지 외국인투자지역에 총 1천9백만달러를 투자해 2022년 11월 1만2,609.5㎡ 규모의 초고순도 가스 부품 공장을 구축 완료했다. 로타렉스가 초고순도 가스 부품 생산설비를 해외에 설치한 것은 아산공장이 최초다.

이곳에서는 가공기계, 세척설비, 금형&JIG 등이 구축돼 초고순도 가스 공급 이송장치에 설치되는 △Pressure Regulators(압력조절기) △라인 밸브(Line valve) △Fittings & Cylinder connectors(피팅 및 실린더 커넥터) 등이 생산 중이다.

로타렉스는 글로벌 UHP 가스 시스템 토털 솔루션 기업으로서 초고순도 가스의 안전한 이송에 필요한 △밸브 매니폴드 박스(Valve Manifold Boxes) △가스 이송 시스템(Gas Delivery Systems) △벌크 가스 탱크(Bolk Gas Tanks) 등 적용 제품군을 강화하고 있다.

또한 초고순도 압력조절기, 밸브 등이 설치되는 캐비넷의 두뇌 역할을 하는 가스 컨트롤 판넬을 고객 맞춤형으로 직접 설계·제작해 공급 중이다. 해외 고객사들의 요청으로 가스 컨트롤 판넬을 직접 설계·제작하는 등 토털 솔루션 공급자로의 변화를 모색하고 있다.

▲ 로타렉스코리아가 국내에서 생산을 시작한 베큠 제너레이터(Vacuum Generator)

이번 전시회에서 로타렉스코리아는 아산공장에서 생산을 개시한 베큠 제너레이터(Vacuum Generator), 소형 레귤레이터(Regulator) 등을 중점 소개했다.

베큠 제너레이터는 실린터 케비넷 등 가스 배관 내부를 진공시켜 배관 내 잔류가스와 대기를 퍼지 할 때 사용되는 부품이다. 또한 배출가스가 질소, 공기 등에 의해 희석되기 때문에 보다 안전한 작업환경에 기여한다.

이 제품은 캐비넷 당 1개씩 설치될 정도로 필수적인 부품인데 로타렉스코리아는 국내 생산을 통해 원가경쟁력을 갖추고 납기 대응도 빨라져 고객사로부터 호평을 받고 있다.

로타렉스코리아는 가스 압력의 조정 및 가스 공급의 차단 등을 통해 적정량의 가스를 원활히 운송하는데 사용되는 레귤레이터도 소형화해 국내에서 생산하고 있다. 소형 레귤레이터가 기존 소형 밸브와 동일한 크기로 작아지면서 가스 시스템이 차지하는 공간이 적어지는 효과가 있다. 반도체 공정이 이뤄지는 클린룸 구축 가격과 유지 비용이 제품 단가에 큰 영향을 미치는 것을 감안하면 로타렉스의 제품은 고객사의 공간 활용 효율성을 높여 원가를 낮추는데 기여할 수 있다.

▲ 로타렉스코리아는 고객 편의성 향상을 위해 UHP 가스 이송에 필요한 가스 스틱 레귤레이터와 밸브도 함께 설계 장착해 맞춤형으로 공급하고 있다.

로타렉스코리아는 반도체 공정에서 고순도 케미컬에 대한 관리가 중요해지고 있는 가운데 해외 시장 확대를 목표로 아산공장에서 자사의 밸브를 장착해 최소 50cc에서 최대 2,000ℓ리터에 이르는 용량의 UHP 케미컬 저장용기(CANISTER)를 고객 맞춤형으로 생산하고 있다. 회사는 고객 편의성 향상을 위해 저장용기에 아산 공장에서 직접 생산되는 UHP 캐니스터 밸브도 함께 장착해 맞춤형으로 공급하고 있다.

이밖에 로타렉스코리아는 각 산업현장에 환경안전관리를 위해 초기화재진압 시스템을 개발하여 국내외 인증을 득하여 공급하고 있다.

주요 제품군으로는 △UL/FM인증 이너트 전역방출시스템 ‘INEREX’ △UL/FM/VDS/KFI 인증 할로겐화합물 전역방출시스템 ‘RX5112’ △UL인증 CO2 전역방출시스템 △장비부착형 소화솔루션 △UL/FM/KFI 인증 전기판넬 화제예방소화시스템 ‘FIREDETEC’ △주방용 자동소화시스템 ‘TRIPLESTAR’ △엔진룸 화재전용 소화시스템 ‘COMPACT LINE’ 등이 있다.

로타렉스코리아 구본남 지사장은 “인공지능(AI) 시대 도래로 글로벌 반도체 시장이 부활의 조짐을 보이는 가운데, 로타렉스코리아가 아시아 생산거점으로 자리매김하면서 국내는 물론 미국, 일본, 대만 등에서 수주가 확대되고 있다”며 “로타렉스는 고객사가 편리하고 안전하게 가스 및 케미컬을 사용할 수 있도록 신제품 개발과 생산 제품군 확대를 위해 지속적으로 투자를 강화할 것”이라고 밝혔다.

한편 지난 1922년 룩셈부르크에 설립된 로타렉스는 가스시스템설비, 산업용 실린더 및 밸브, 방화시스템 및 부품 생산 기업으로 2,000여명의 직원과 전 세계 21개국 제조공장 및 4곳의 개발 연구소를 두고 있는 글로벌 기업이다. 실린더용 특수가스 밸브 분야에서 선진 기술을 확보하며 해당 분야에서 전세계 1위를 차지하고 있는 경쟁력 있는 기업으로 알려져 있다.

로타렉스코리아는 ISO가 제정한 3개의 ISO 경영시스템(ISO 45001, ISO 9001, ISO14001) 모두를 통합인증 완료함으로써 안전한 제조환경과 글로벌 ESG 경영관리체계 구축을 마쳤다.