▲ (左부터)한양이엔지 시스템BU 기술연구소 백인학 상무, 사업부장 김영서 부사장, 사업담당 이종근 대표이사, 관리담당 김윤상 대표이사, 장비영업부 공진철 전무가 화학물질 중앙공급장치(CCSS)에 대해 설명 후 기념촬영을 하고 있다.

반도체, 디스플레이 등 첨단 미래 산업과 플랜트, 가스, 환경 등 다양한 산업 분야의 근간이 되는 종합엔지니어링 솔루션을 제공하고 있는 한양이엔지가 화학물질 전 과정 통합관리시스템을 선보여 업계 관계자들로부터 호평을 받았다.

한양이엔지는 1월 31일부터 2월 2일까지 3일간 서울 코엑스 전시장에서 열린 ‘세미콘 코리아 2024’에 참가해 화학물질 공급에 필요한 서비스를 제공하는 토탈 케미칼 솔루션 ‘중앙공급장치(CCSS)’를 소개했다.

한양이엔지가 1990년 국내 최초로 국산화에 성공한 화학물질 중앙공급장치(CCSS, Central Chemical Supply System)는 반도체·디스플레이 생산에 사용되는 초정밀 화학물질을 일정한 비율로 혼합한 후 설계된 프로그램에 따라 혼합된 화학물질을 순차적으로 공급·이송·혼합·폐기의 전 과정을 통합 관리하는 자동화 장비다.

CCSS는 반도체 공장 구축 시 공장 내부에 반도체 제조장비 설치가 이뤄지기 전에 가장 먼저 설치된다. 생산 현장에서 취급하는 화학약품들이 대부분 독성이 있는 화학물질이라 초고순도용 가스와 화학물질을 공급과 보관의 안전성, 지속적인 유지보수가 중요하기 때문에 반도체 등 제조사에서는 검증된 제품을 사용하려고 하고 있다.

한양이엔지의 CCSS는 전기·유틸리티·믹싱 부문 등 혼합장치의 생산을 일체형이 아닌 조립방식으로 장치를 만드는 기간을 단축 시킬 수 있고, 장치를 수리할 때 각 부문의 간섭을 받지 않도록 해 이용 편의와 안정성, 경제성을 자랑한다. 또한 한양이엔지의 화학물질 통합관리시스템(TCMS, Total Chemical Management Services)은 초정밀 화학물질의 입고-관리-검사-저장-폐기에 이르는 전공정에 걸쳐 통합관리 서비스를 제공하고 있다.

CSSS는 △고순도의 케미칼을 탱크로리로부터 저장 탱크까지 오염없이 안전하게 공급해 주는 ACQC(Automatic Clean Quick Coupler System) 시스템 △대용량 저장소의 약품을 펌프를 이용해 먼 거리의 공급 대상 설비에 이송 또는 공급 설비로 유량을 분배하는 Transfer 시스템 △불순물을 제거한 화학약품을 탱크에 저장하고 질소가스 가압을 통해 고품질 필터를 한 번 더 거쳐 화약약품의 최종 공급을 담당하는 Supply 시스템 △고농도의 물질을 반도체 및 디스플레이 제조공정에 필요한 농도로 희석하는 Mixing 시스템으로 구성돼 있다.

한양이엔지의 CCSS 및 TCMS는 설계-제조-검사-설치 단계 전반에 걸쳐 한양이엔지가 구축한 HQMS(Hanyang Quality Management System)를 통해 엄격한 품질 표준을 준수해 제작·설치·운영관리되고 있다. 이에 안전성 확보와 화확물질의 농도 유지 및 효율성을 향상시켜 반도체 및 디스플레이 제조 공정에 필수적인 역할을 수행하고 있다.

최근 한양이엔지는 CCSS 유닛의 자동화 업그레이드를 중점적으로 추진하고 있다. 장치 대부분이 자동화돼 있지만 그동안 1:1 진행됐던 ACQC 시스템을 하나의 로봇이 3~4개 공급 장치에 화학물질을 공급 할 수 있도록 멀티 자동화 시스템을 개발, 무인화 및 자동화를 통해 경제성을 향상시켰다. 지난해 하반기에 ACQC 멀티 시스템 시제품을 완성했으며, 디자인 또한 마무리 돼 현재 시제품 평가만 기다리고 있는 상황이다. 한양이엔지는 앞으로 공급 필터, 샘플링 시스템 등 고객의 요구에 맞게 CCSS의 기능 향상에 매진할 계획이다.

한양이엔지의 CCSS 및 TCMS는 반도체·디스플레이, 2차전지, 태양광 등 다양한 산업 분야 고객의 생산성 향상을 위한 화학물질 공급의 안전성을 향상시키는데 기여하며, 국내외 고객사로부터 제품의 우수성을 인정받고 있다.

한양이엔지의 김윤상 대표는 “한양이엔지는 지속적인 연구개발을 통해 고객의 요구에 따른 맞춤형 설비 및 시스템 제공과 성능이 한 층 더 업그레이드 된 엔지니어링 서비스를 공급할 것”이라며, “이를통해 고객사의 발전에 기여할 뿐만 아니라 국가 산업 및 경제 성장에도 이바지 할 수 있는 글로벌 기업으로 자리매김 할 것”이라고 전했다.

▲ 한양이엔지가 ‘세미콘코리아2024’에서 선보인 화학물질 중앙공급장치(CCSS) 모형물