▲ 효성화학 Neochem 특수가스 생산기지 옥산공장 전경

효성화학은 “특수가스 사업부 분사 및 투자 유치를 검토 중이나 현재까지 구체적으로 확정된 사항은 없다”고 14일 공시했다.

효성화학은 반도체·디스플레이 공정에서 세정용으로 사용되는 특수가스인 삼불화질소(NF3)를 한국과 중국에서 약 9,300톤을 생산하고 있는 세계 2위 생산기업이다. 

또한 반도체 산업에서 수요가 급증하고 있는 중수소(D2, Deuterium)의 생산설비와 기술 국산화를 국내 최초로 성공했다. 중수소는 반도체 웨이퍼가 받았던 물리화학적 스트레스를 제거하고 특성을 향상시키는 과정에서 사용되는 열처리 가스로 효성화학의 생산 캐파는 연산 10톤이다. 

이밖에도 20% F2/N2 혼합가스, 염화수소(HCl), 염소(Cl2) 등 특수가스 제품 다변화를 추진하면서 특수가스 업계에서 경쟁력 있는 기업으로 알려져 있다.