특수 가스 및 첨단 소재 분야의 선두업체인 EFC Gases & Advanced Materials(EFC)가 엑시머 레이저와 함께 사용할 수 있도록 공식적으로 Cymer의 인증을 받은 네온 가스 재활용 시스템을 출시했다고 밝혔다.

네온은 심자외선(DUV) 리소그래피에 필수적이며 레이저 광 생성에 매우 중요한 역할을 한다. 이 시스템은 최종 사용자에게 장기적으로 안정적인 네온 가격을 제공하며 희유 기체 및 반도체 산업을 변화시킬 준비가 된 지속 가능한 기술이다.

네온 가스 재활용 시스템은 OEM 인증을 획득한 이 재활용 시스템은 업계 표준 엑시머 레이저와 원활하게 통합돼 신뢰성과 고성능을 보장하며, 일반적으로 배출되는 레이저 가스를 포착하고 재활용해 장기적으로 안정적인 네온 가격과 공급망 연속성을 보장, 기업의 재무 계획 및 운영 효율성을 개선한다.

또한 네온을 재활용하면 네온의 생산 필요성을 상쇄할 수 있으며, 향후 20년 동안 반도체 제조 시설 당 이산화탄소 배출량을 100만톤 이상 줄일 수 있어 이는 반도체 산업의 지속 가능한 발전을 지원한다.

EFC의 수석 부사장인 Matt Adams는 혁신과 지속 가능성을 발전시키는 데 있어 네온 가스 재활용 시스템의 역할을 강조하며 “현재 OEM 인증을 받은 이 시스템은 엑시머 레이저 기술의 획기적인 도약으로, 운영 효율성을 개선하고 환경적 이점을 제공한다”고 전했다.

EFC Gases & Advanced Materials의 사장 겸 CEO인 Pavel Perlov는 “당사의 새로운 네온 가스 재활용 시스템의 도입은 네온 가스 가격을 안정화하고 글로벌 공급 변동에 관계없이 가용성을 보장하는 이정표다. 이는 반도체 산업을 책임감 있는 미래로 이끄는 솔루션 제공이 가능하다”고 말했다.

한편, EFC Gases & Advanced Materials는 고순도 전자 가스, 첨단 소재, 희유 기체 분야의 선두업체로 반도체 제조, 항공우주, 조명, 유틸리티 등의 중추 산업에서 지속 가능한 기술을 개척하는 데 전념하고 있다.