▲ 참그래핀의 최희숙 실장이 `나노코리아2023`에서 자사의 그래핀 응용제품을 설명하고 있다.

그래핀분야 선두주자 참그래핀이 지난 5일~7일에 개최된 2023‘나노코리아’에서 EUV펠리클, 투명전극, 의료산업 등 다양한 산업 분야에 사용되는 그래핀 기술과 제품을 소개했다.

참그래핀은 2010년 창업이래 획기적인 생산성의 롤투롤 그래핀 CVD장비를 자체 개발하여 고품질의 그래핀 필름을 직접생산, EUV 펠리클을 개발하고 있는 그래핀 전문 기업이다.

참그래핀은 고속 롤투롤 CVD 장비를 제작해 분당 2m 생산성을 갖는 고품질 그래핀 양산장비 및 공정 기술을 보유하고 있다. 6μm 두께 얇은 동박으로 그래핀 고속 생산에 성공해 기존 35μm 두께 동박 사용 대비 재료비를 획기적으로 절감 했다.

동박에 합성된 그래핀을 분리해 PET와 같은 필름으로 전사하는 과정에서 동박 에칭액 사용량을 기존 대비 1/6 이상 줄여 보다 더 친환경적이면서 양산단가를 획기적으로 낮추고 생산성을 대폭 높였다.

참그래핀은 2023년 세계 최초 FULL SIZE (144mm x 110mm), 두께 7m 극박막 펠리클 제작에 성공했다. 펠리클은 빛으로 반도체 웨이퍼에 회로를 반복해서 찍는 노광 공정에 사용되는 부품으로, 회로가 그려진 포토마스크의 오염을 막기 위한 일종의 덮개이며 펠리클을 사용하면 반도체 칩의 생산수율을 극대화 할수 있다.

참그래핀의 고품질 그래핀 필름 히터는 그래핀 필름의 투명성, 유연함, 전기전도성과 열전도성의 우수한 특성을 반영해 생활용품을 비롯해 차세대 전기자동차 부품 분야까지 매우 다양한 분야에 기대를 받고 있다.

또 관련 특허로 △그래핀 제조장비기술 △그래핀 공정기술 △그래핀 응용제품으로 국내특허 등록19건, 국내상표등록1건, 해외특허등록 8건, 국내출원 21건 등이 있다.

참그래핀 관계자는 “새로운 미래 창조를 위한 수많은 기업들의 창의적인 노력에 참그래핀은 고품질 그래핀, 안정적인 공급 능력, 혁신적인 가격으로 응답하겠다“고 말했다.

▲ 참그래핀 graphene on Cu