국내 나노 기술 및 산업 발전에 기여하고 있는 나노종합기술원(원장 박흥수)이 반도체 공정 기반의 마이크로 전고체 배터리 개발을 추진, 반도체 등 국가 전략기술 경쟁력 확보에 나선다.

나노종합기술원은 과학기술정보통신부(장관 이종호)의 지원을 받아 수행한 출연사업에 대한 ‘나노반도체 지원 성과보고회’를 14일 개최했다고 밝혔다.

이날 행사에서 기술원은 국내 반도체 소부장 중소·중견 기업과의 공동개발을 통한 실용화 성과와 추진계획을 공유하고, 기술원의 반도체 테스트베드 활성화를 위한 공공팹 운영 컨설팅 지원과 12인치 반도체 장비의 기술원 이전에 큰 도움을 준 ㈜삼성전자(DS부문) 상생협력센터에 감사패를 수여했다.

행사는 차세대지능형반도체사업단 김형준 단장의 기조연설을 시작으로, 기술원 중점사업 소개 및 성과, 참여기업의 공동 개발결과와 실용화 성과, 동반성장 업무협약(4개사) 및 상생협력 시상 순으로 진행됐다.

기술원은 반도체 테스트베드를 활용한 기술 실용화 지원을 위한 주요사업인 △테스트베드 소재부품장비 공동기술개발 사업 △나노 Open Innovation Lab협력사업 △반도체 공정기반 나노메디컬 디바이스 개발 사업 등에 대한 소개와 주요성과를 발표했다.

공동개발 기업 SK머티리얼즈퍼포먼스는 12인치 반도체 테스트베드를 활용한 반도체 핵심소재 감광제(PR, ArF Immersion용) 개발 △앨로힘은 ‘고용량 초소형 실리콘 캐퍼시터 개발’ △케이런은 ‘반도체 공정 기술을 활용한 유전자 전달 나노입자 제조 시스템’ 개발성과를 각각 발표했다.

이어 기술원은 ‘반도체-마이크로 전고체 배터리 플랫폼 개발사업’의 추진계획을 발표했다. 기술원은 미래 배터리 초격차 기술 확보를 위해 과기정통부의 지원(2023년~2027년)을 받아 반도체 공정(8인치) 기반 전고체 배터리 플랫폼 기술개발을 추진할 계획으로 이에 대한 상세 개발계획을 최초로 공식 발표했다.

또한, 이번 행사에서 기술원은 △SK머티리얼즈퍼포먼스(반도체 PR 공급/개발) △넥스틴(반도체 장비 개발) △소로나(전고체배터리 장비 개발) △㈜루켄테크놀러지(나노바이오 소부장) 등 4개 기업과의 동반성장을 위한 업무협약을 체결했다.

더불어 기술원을 활용한 우수 연구성과와 우수 협력사에 대한 상생협력 시상도 함께 진행했다. 우수연구상은 SK머티리얼즈퍼포먼스, KAIST 최신현 교수팀 등 4개 팀에, 우수협력사는 현바쿰테크, 지올코리아에 나노종합기술원장상을 수여 했다.

박흥수 원장은 “기술원은 국가 핵심 나노인프라로 원천기술 연구개발 지원과 연구성과의 상용화를 지원하는 Service Provider의 역할을 강화해 나갈 것이며, 반도체, 첨단바이오 등 국가 전략기술 경쟁력 확보를 위한 핵심 거점기관으로 발돋움하기 위하여 산학연 고객의 다양한 의견을 반영해 나갈 계획이다”라고 밝혔다.