▲ 한양이엔지 관계자가 세미콘코리아2023에 참가해 6세대 화학물질 중앙공급장치(CCSS) 모형물 앞에서 제품에 대해 설명하고 있다.

반도체 등 다양한 산업 분야에서 필수적인 종합엔지니어링 솔루션을 제공하는 한양이엔지(대표 김형육, 김덕림)가 ‘6세대 화학물질 전 과정 통합관리시스템'을 공개해 많은 주목을 받았다.

한양이엔지는 2월 1일부터 3일까지 코엑스 전시장에서 열린 ‘세미콘 코리아 2023’에서 기존보다 성능 및 안전성이 향상된 화학물질 중앙공급장치(CCSS, Central Chemical Supply System)를 선보였다.

한양이엔지가 국내 최초로 국산화에 성공한 화학물질 중앙공급장치(CCSS)는 반도체·디스플레이 제조공정서 사용되는 화학물질을 공급하는 인프라 장치로, 초정밀의 여러가지 화학물질을 일정한 비율로 혼합한 후 설계된 프로그램에 따라 혼합물질을 공급·이송·혼합·폐기의 전 과정을 통합관리하는 자동화 장비다.

▲ 화학물질 중앙공급장치(CCSS)

CCSS 구성을 보면, ACQC 시스템은 탱크로리를 통해 화학약품을 운송해 반도체·디스플레이 생산 현장에 공급하는 장치다. 한양이엔지는 자동 세정 및 건조기능을 추가해 외부 오염을 방지하며 이송 과정에서 탱크로리 가압과 배기를 도와 안전하게 이송 될 수 있도록 했다.

Transfer 시스템은 대용량 저장소의 약품을 고성능 펌프를 이용해 먼 거리의 공급 대상 설비에 이송·공급하는 설비로 유량을 분배한다. Supply 시스템은 불순물을 제거한 화학약품을 탱크에 저장하고 질소가스 가압을 통해 고품질 필터를 한 번 더 거쳐 공급한다.

Mixing 시스템은 고농도의 물질을 반도체 및 디스플레이 제조공정에 필요한 농도로 희석하는 설비로 순차 혼합 방식을 이용해 높은 희석액 생산량을 보장한다.

이번 전시회에서 한양이엔지가 선보인 6세대 CCSS는 전기·유틸리티·믹싱 부문 등 혼합장치의 생산을 일체형이 아닌 조립식으로 변경해 장치를 만드는 기간을 단축 시키고, 장치를 수리할 때 각 부문의 간섭을 받지 않도록 해 안정성을 높였다. 또한 기존의 장치보다 다양한 옵션을 추가하고 각 부문의 기능을 한 단계 더 향상 시켜 성능과 안정성 부분을 더 강화시켰다.

현재 한양이엔지는 반도체 공정에서 발생되는 불순물을 제거하기 위한 세정 공정에 사용되는 SC1-Mixing System을 개발하고 있다. SC1-Mixing System은 암모니아수(NH₄OH), 과산화수소(H₂O₂), 초순수를 고객사에서 요청한 농도를 초정밀 제어를 통해 혼합 후 공급하는 장치로, 반도체 CMP(화학적 기계적 연마) 공정 후 발생되는 슬러리 등의 불순물을 제거하는데 사용된다.

반도체가 점차 미세화됨에 따라 세정에 필요한 화합물에 대한 정밀한 농도가 요구되고 있다. 이에 한양이엔지는 초정밀의 농도롤 혼합·유지 할 수 있는 SC1-Mixing System 장치의 설계를 완료했고, 데이터 구축 및 시제품을 제작 중에 있다. 추후 양산화를 통해 반도체 메이커에 공급할 수 있을 것으로 기대된다.

반도체 등 생산 현장에서 취급하는 화학약품들이 대부분 독성이 있는 화학물질로 화학물 안전관리에 대한 안정성을 필수적으로 확보해야 한다. 한양이엔지의 CCSS 및 믹싱 장치 등은 안전성 확보와 화확물질의 농도 유지 및 효율성을 향상시켜 반도체 및 디스플레이 제조 공정에 필수적인 역할을 수행하고 있으며, 태양광 설비 등 광범위한 첨단 산업 분야에 사용되고 있다.

국내 뿐만이 아니라 해외에서도 인정받고 있는 한양이엔지의 CCSS 장비는 설계, 제조, 검사, 설치 단계 전반에 걸쳐서 엄격한 품질 표준에 의해 관리되고 있으며, 현재 국내외 기업들에게 공급하고 있다.

한양이엔지 시스템BU 국내영업부 백인학 상무는 “한양이엔지는 고객의 요구에 따른 맞춤형 설비와 다양한 환경에 따른 차별화된 장치 및 시스템 구현을 통해 고객사의 성장뿐만이 아니라 반도체, 가스, 환경, 그린에너지 및 우주 항공 산업 발전에도 기여하는 글로벌 탑티어가 될 수 있도록 최선을 다할 것”이라고 밝혔다.

▲ `세미콘 코리아 2023`에 참가한 한양이엔지의 부스전경