▲ 효성화학 Neochem 특수가스 생산기지 옥산공장 전경

효성화학(대표 이건종)이 국내 최초로 중수소(D2, Deuterium)의 생산설비와 기술 국산화에 성공했다. 전량 수입에 의존하고 있는 반도체와 광케이블용 중수소 물량을 대체해 반도체 소재 공급망 강화에 기여할 전망이다.

효성화학은 고순도 중수소를 연간 10톤 생산 할 수 있는 설비를 최근 구축 완료하고, 국내 반도체 기업에서 제품 품질을 평가 중이라고 밝혔다.

중수소는 반도체와 광케이블 열처리 공정에서 사용되는 가스다. 반도체의 경우 미세패턴을 적용한 회로 집적도 기술을 구현하는 과정에서 회로 오작동, 수명단축 문제가 발생한다.

이를 해결하기 위해 반도체 웨이퍼가 받았던 물리화학적 스트레스를 제거하고 특성을 향상시키는 과정에서 중수소가 열처리 가스로 사용된다. 또한 광케이블의 수명 및 성능 개선에도 중수소가 사용된다.

중수소는 전략물자로 분류되기 때문에 국가간 수출입이 까다로우며, 우리나라는 전량 해외에서 수입하고 있다.

이에 효성화학은 2020년부터 약 2년에 걸쳐 중수소 생산의 국산화를 추진해왔다. 효성화학은 20년간 다져온 전기화학 기술을 기반으로 국내 최초로 중수소 생산 설비를 자체 개발했다.

특히 효성화학은 중수를 정제하여 전기 분해 한 후, 몇 단계 정제 과정을 통해 고순도 중수소를 생산하는 모든 공정을 국산화하는데 성공했다.

이건종 효성화학 대표이사는 "전세계 삼불화질소(NF3) 2위 생산능력을 가지고 있는 효성화학이 전기화학 및 특수가스 정제 기술을 바탕으로 중수소 국산화를 이뤄내 매우 뜻깊게 생각한다"며 "효성화학의 중수소는 특수가스 해외 의존도를 해소하고, 국내 반도체 소재 공급망 안정화에도 기여하게 됐다는데 의미가 있다"라고 말했다.

한편 효성화학 네오켐 사업부는 NF3, 20% F2/N2 혼합가스, D2, 염화수소(HCl), 염소(Cl2) 등 특수가스 제품 다변화를 위해 신성장 동력을 지속적으로 발굴 육성하고 있다.

효성화학은 최근 옥산 공장부지에 NF3 공장 증설을 통해 생산 거점을 분리하여 공급 안정성을 높였으며, 옥산 공장을 발판으로 특수가스 제조/정제/분석기술을 이용하여 신제품 개발을 지속 추진할 계획이다.