▲ 킨텍스에 설치된 리가스 부스 전경. PAMS, TO-14A, HF CRM, 검지기용 표준가스를 전시했다.

표준물질 생산 및 연구 전문기업이자 공인검정기관인 ㈜리가스가 제16회 국제연구 실험 및 첨단분석장비전에 참가해 PAMS 57종, TO-14A 43종, 불화수소(HF) 등의 다양한 표준가스와 가스분석시스템 클리닝 장치인 Pre Analysis System(이하 PAS)를 선보였다.

전 세계적으로 휘발성유기화합물(Volatile Organic Compounds, 이하 VOCs)로 인한 환경오염 피해가 급증함에 따라 오존 전구물질(precursor) 및 유해대기오염물질(Toxic Organics, TO 계열)의 농도 제어가 중요해졌다. 이를 위해서는 신뢰성 높은 PAMS, TO-14A 표준가스를 사용하여 미량 VOCs 농도를 정확히 측정하여야 한다.

▲ ㈜리가스의 PAMS 57종, TO-14A 43종 표준가스가 1L 소형 실린더에 담겨있다

리가스는 기존 해외에서 전량 공급받던 PAMS 57종, TO-14A 43종 표준가스를 본격 출시해 국내에 공급하고 있다. 현재 상반기 20건 이상의 국내공급실적을 기록했으며 수요가 증가함에 따라 향후 국내 시장을 넘어 세계시장으로 진출할 계획이다.

반도체공정에 쓰이는 HF(불화수소)의 표준가스 개발도 완료했다. 산업부 국가기술표준원 주관 ‘2020년도 상용표준물질 개발보급 사업’을 통해 KOLAS 표준물질생산기관 인정 항목을 확대하고 HF 인증표준물질 보급 및 COMAR(국제표준물질 데이터베이스) 등록 성과를 달성했다.

국내외 표준가스 제조업체 중에서 유일하게 HF 인증표준물질(CRM)을 개발함으로써 큰 관심을 받았으며 현재 ‘HF (5 ~ 50) μmol/mol in N2’ 인증표준물질을 활발히 보급하고 있다.

▲ ㈜리가스에서 개발한 Pre Analysis System(PAS)

PAS는 가스분석시스템 클리닝 장치로써, 분석 전/후 시료 또는 수분, 산소, 먼지 등의 오염물질을 제거하는 역할을 한다. 이를 통해 보다 정확한 분석결과를 도출할 수 있으며, 시스템 유지보수 비용도 절감할 수 있다. ㈜리가스는 올 하반기부터 PAS의 판매를 계획하고 있다.

▲ ▲ 1L 소형사이즈의 검지기용 가스

한편, 이번 전시에선 다양한 검지기용 가스와 가스분석에 최적화된 레귤레이터(감압장치) 제품도 선보였다.

㈜리가스가 개발한 1L 소형 표준가스인 ‘rigas ONE’은 무게가 1kg 밖에 되지 않아 휴대하기가 편하고 고압충전이 가능하다. 또한, ‘rigas ONE’ 제품은 DOT 및 KGS 인증을 받은 용기로 고압가스안전관리법에 의거하여 국내시장에 합법적으로 유통이 가능하다. 이러한 장점들을 바탕으로 국내 산업계에서 좋은 반응을 얻고있다.

㈜리가스에서 개발한 레귤레이터는 가스분석에 최적화된 제품으로 정확한 분석 결과에 도움을 준다. 그 중 s-series 제품은 특수 내면처리기법을 도입해 흡착성 및 반응성 물질에 대한 영향을 최소화 했다.

▲ 리가스의 임직원들이 전시회 부스에서 포즈를 취하고 있다.