▲ 미코세라믹스가 세라믹 히터와 정전척을 전시했다.

첨단세라믹 소재부품 전문기업인 미코(회장 전선규)가 코엑스에서 9일부터 11일 열린 세미콘코리아2022에 참여해 반도체 산업용 첨단 세라믹 소재와 부품 등 핵심 기술을 선보였다.

미코는 고부가가치 제품인 첨단 세라믹 소재 원천기술을 확보해 관련부품 개발에 성공해 고가의 반도체, 디스플레이 제조장비용 부품 개발과 세계 시장 진출로 해외 유수 기업과 경쟁하며 기술력을 인정받고 있다.

이번 전시에서는 미코와 물적분할을 통해 사업부문이 분리된 미코세라믹스, 코미코가 함께 참여해 반도체 산업에 공급 중인 플라즈마 화학 증착 장비(PE-CVD)용 세라믹 히터(AlN Heater), 세라믹 정전척(ESC), 세정·코팅 솔루션 등을 선보였다.

먼저 미코세라믹스는 반도체 제조공정에 사용되는 AlN히터, ESC와 같은 기능성 제품과 다양한 부품에 이르기까지 고객사의 요구에 맞는 다양한 커스터마이징 제품들을 제공하고 있다. 삼성전자 등 국내외 반도체 제조사들을 고객사로 두고 있다.

미코세라믹스는 정부사업을 통해 일본이 대부분을 차지했던 반도체 CVD장비용 고온히터를 국내 기술로 양산하는데 성공했다. 이 고온히터는 반도체 증착 공정장비에 쓰이는 핵심적인 부품으로 실리콘 웨이퍼를 균일한 온도인 550도 이상으로 유지해 실란계 증착물이 균일하게 증착되도록 돕는다.

ESC는 에칭공정에서 정전력을 통해 패널을 고정하는 역할을 한다. 이 역시 미코세라믹스가 자체적으로 국산화한 세라믹 시트를 활용해 국내 최초로 국산화에 성공한 제품이다. 주력제품인 300㎜ ESC외에도 200㎜ ESC도 교체수요로 인해 매출이 꾸준히 늘고 있다.

코미코는 세계 최고의 글로벌 반도체 장비 부품 세정,코팅 전문 회사로 도약을 위해 끊임없는 연구개발을 진행 중이다. 한국을 포함한 미국, 중국, 대만, 싱가폴 현지에 첨단세정, 코팅 공장을 설립해 전 세계 우수 반도체 칩메이커로부터 품질을 인정받고 있다.

한편, 미코세라믹스는 코스닥 예비 심사를 청구해 거래소 승인을 받아 올해 초 코스닥 상장할 것으로 예상되고 있다. 이미 지난해 초 KB증권을 상장 주관사로 선정한 바 있다.

메리츠증권에 따르면 세라믹 히터와 ESC의 시장규모는 각 5천억, 8천억 수준이다. 하지만 일본 업체 점유율이 95%를 차지하고 있어 국산화 기대 수요가 매우 높다. 이에 삼성전자는 지난해 11월 217억원의 자금을 투자해 2대 주주로 이름을 올렸다.