▲ 산업통상자원부 기술표준원이 주최한 ‘상용표준물질개발 및 보급사업 성과 보고 및 업계 간담회(2021.9.14)’에서 소개된 리가스의 HF 인증표준물질(CRM)

표준물질을 생산 및 분석, 연구하는 전문기업이자 표준가스 공인 검정기관인 ㈜리가스(대표 이상호)가 반도체 산업에서 널리 쓰이는 불화수소(HF)의 인증표준물질(CRM) 및 환경분야 시험.검사 등에 관한 법률에서 정한 굴뚝(소각장) 등에서 꾸준히 요구되고 있는 암모니아(NH3)와 이산화질소(NO2) 인증표준물질(CRM)을 확대 공급한다.

리가스는 ‘적합성평가 관리 등에 관한 법률’ 제8조(공인기관의 인정 등) 및 ‘KOLAS 공인기관 인정제도 운영요령’ 제10조(인정 및 공고)에 따라 KOLAS 공인표준물질생산기관으로 인정받아 KOLAS의 신뢰도를 기반으로 26종의 인증표준물질을 보급하고 있다.

최근에 △HF 5~50 μmol/mol in N2 △NH₃ 5~50 μmol/mol in N2, △NO₂ 10~1000 μmol/mol in N2 3종을 추가 인정받았고, ㈜리가스에서 공급되는 모든 인증표준물질 정보가 국제표준물질등록센터(COMAR)에 추가 등록됐다.

특히, HF의 경우 국내외 표준가스 제조업체 중에서 유일하게 HF 인증표준물질(CRM)을 보급할 수 있게 됨으로써 국내외 큰 관심을 받을 것으로 기대된다.

이로써 ㈜리가스는 표준물질 총 29종을 등록하게 됐다. COMAR DB는 사용자가 용도에 적합한 표준물질을 검색할 수 있도록 전 세계 표준물질에 대한 정보를 제공하는 온라인 국제 표준물질 데이터베이스로, 국제코딩센터(COMAR, Code of Reference Material)가 운영하는 시스템이다.

KOLAS 표준물질생산기관 인정제도는 측정기기의 교정, 측정방법의 평가 또는 재료에 값을 부여하는 것에 사용하기 위해 하나 이상의 특성값이 충분히 균일하고 적절하게 확정돼 있는 재료 또는 물질을 생산하는 그 능력을 국제기준에 따라 평가하고 인정하는 제도이다.

2020년부터 정부는 소재·부품·장비 자립과 K-방역 산업경쟁력 강화에 필수적인 표준물질의 국산화를 위해 136억원을 투입해 전략 표준물질 40종 및 12종의 신규 개발을 추진했다.

이 사업에 참여한 ㈜리가스는 2년간의 연구개발을 통해 ‘반도체 공정용 불화수소 표준가스 개발’을 완료해 KOLAS 표준물질생산기관 인정항목 확대, HF 인증표준물질 보급 및 COMAR 등록의 성과를 달성하고 현재 국내외 산업계에 보급을 시작해 산업현장에서 측정의 신뢰도를 높이고 있다.

소재의 품질과 성능을 평가·확인·인증하는데 사용되는 기준물질을 뜻하는 표준물질은 생산 제품의 성능과 분석의 신뢰도를 좌우하고 나아가 산업의 미래를 결정하는 산업 경쟁력의 원천으로 그 중요성이 더욱 확대되고 있으며, 각종 산업 및 과학기술이 발전함에 따라 대기환경측정·석유화학공정·배기가스측정·가스검지기 등의 다양한 분야에서 표준가스를 필요로 하고 있다.

표준물질의 품질 보장과 원활한 공급, 기술변화 및 다양한 표준물질의 요구를 충족시키고 있는 ㈜리가스는 다양한 표준물질을 철저한 품질관리시스템, 초정밀 천칭을 이용한 중량법으로 제품을 제조하여 최고 품질의 표준가스를 신속하게 고객에게 제공하고 있다.

㈜리가스 관계자는 “탄소중립 및 온실가스 감축 등 환경 규제 등으로 표준가스의 수요는 더욱 확대되고 높은 정확도와 신뢰성이 요구되고 있다. 이에 ㈜리가스는 지속적인 연구개발과 제품혁신에 최선을 다해 글로벌 표준가스 생산 및 분석기관으로 성장할 수 있도록 노력하겠다”고 말했다.