▲ 한형석 기계연 자기부상연구실 박사. 한형석 기계연 자기부상연구실 박사

최근 반도체, 디스플레이 산업 분야에서 높은 청정도가 요구되고 있는 가운데 ‘자기부상 비접촉 무분진 반송장치’가 개발돼 향후 클린룸용 물류 반송장치 시장이 활성화될 전망이다.

한국기계연구원(원장 이상천) 자기부상연구실 한형석 박사팀은 충남 디스플레이 R&D클러스터 사업의 지원을 받아 (주)에버테크노와 공동으로 자기부상열차의 부상 및 추진 기술을 활용해 첨단 클린룸 물류장비인 ‘자기부상 무분진 반송장치’를 개발했다고 최근 밝혔다.

기존 롤러를 이용한 접촉식 반송방식은 분진과 진동으로 인해 높은 청정도가 요구되는 클린룸에서 어려움을 겪었는데 이번에 개발된 자기부상 무분진 반송장치는 비접촉식 반송방식을 적용하여 분진과 진동이 없는 친환경적인 기술로 각광받고 있다.

또한 자기부상 무분진 반송장치 속도는 4m/s로 기존 롤러 반송장치 속도(0.4m/s)에 비해 10배가 빨라졌으며, 적재함을 이용해 여러장의 Glass를 옮길 수 있어 반송량도 증가했다. 무엇보다 분진 발생이 없는 반송장치의 최대장점으로 인해 FFU(Fan Filter Unit(먼지흡입기))의 유지보수비가 줄어드는 효과를 가져왔다.

더불어 기존에는 부상을 위해 전자석에 전기에너지를 지속적으로 공급해야 했지만, 이번 기술에는 영구자석을 함께 적용해 부상을 위한 전기에너지 소모가 매우 적은 하이브리드 자기부상기술이 적용 됐다는 게 큰 특징이다.

이로 인해 전자석의 용량 및 주변 전력장치를 경량화시킬 수 있어 부상안정성 향상 및 고속 이동이 가능하다는 장점이 있다.

연구책임자인 한형석 박사는 “이번 기술의 무분진, 저진동의 장점으로 반도체, LCD, OLED 뿐만이 아니라 의약품, 식품 생산라인에도 적용이 가능하여 그 파급효과가 매우 클 것”이라고 밝혔다.

자기부상 무분진 반송장치는 올해 말까지 신뢰성 검사를 마친 후 LCD, OLED, 반도체의 청정 생산공정에 바로 적용할 예정이다.

한편 반도체, LCD 등 청정 물류장비분야의 2014년 산업규모는 국내시장 2,700억원, 세계시장 1조5천억원 정도로 예상되며, 향후 청정 물류 이송시스템의 핵심기술로 활용될 수 있을 것으로 기대된다.