▲ 미코세라믹스와 SK하이닉스의 업무협약식에서 (左부터) 여문원 미코세라믹스 대표, 성윤모 산업부 장관, 김성한 SK하이닉스 부사장이 협약 체결 후 기념촬영에 응하고 있다.

㈜미코의 반도체 장비용 부품 사업 관계사인 ㈜미코세라믹스가 정부의 R&D 사업을 통해 일본이 장악하고 있는 반도체 CVD(화학기상증착) 장비용 고온 히터를 국산화 및 양산화하는데 성공해 우리 반도체 산업 경쟁력 강화에 기여할 전망이다.

산업통상자원부는 성윤모 장관이 28일 정부의 소재·부품·장비 R&D 사업을 통해 반도체 CVD 장비용 고온 히터를 국내 최초로 개발한 미코세라믹스를 방문하고, 국내 주요 소재부품장비 수요-공급기업 대표들과 간담회를 개최했다고 밝혔다. 이날 간담회에는 여문원 미코세라믹스 대표, 최용하 코미코 대표, 김성한 SK하이닉스 부사장, 신정순 삼성SDI 전무 등 R&D참여 공급 및 수요기업 관계자가 참석했다.

미코세라믹스가 국산화한 반도체 CVD 장비용 고온 히터는 반도체 증착 공정장비에 소요되는 핵심부품으로, 실리콘 웨이퍼를 균일한 고온 상태(550℃ 이상)로 유지시켜 실란계 증착물질 등이 균일하게 증착될 수 있도록 하는 역할을 한다. 기존에는 일본이 세계시장의 95% 이상을 차지하고 있었는데 지난 2019년 일본 수출규제에 대응해 시작된 정부의 소부장 R&D 지원을 통해 기술개발에 성공했다.

미코세라믹스는 연 3,000개를 생산할 수 있는 공장을 신설하기 위해 420억원을 투자했으며 오는 5월25일 준공 예정이다. 이를 통해 연간 매출 800억원을 창출하는 한편 국내 반도체 부품 공급망 안정과 해외 수출 효과도 기대되고 있다.

이날 미코세라믹스는 수요기업인 SK하이닉스와 반도체 CVD 장비용 고온 히터에 관한 업무 협약을 체결했다. 이번 협약은 기술개발·성능평가·구매에 있어 최선을 다해 협력하는 것을 내용으로 하고 있다.

이에 대해 성윤모 장관은 “이번 업무협약과 같은 연대와 협력의 움직임이 우리 소부장 산업 생태계 전반으로 확산되고, 소부장 산업, 나아가 우리 제조업의 성장으로 이어지기를 기대한다”고 밝혔다.

한편 이날 산업부는 지난 2019년 9월부터 소부장 R&D에 착수한 이래 2020년 말까지 국내 기업들이 18개월만에 매출 2,151억원, 투자 3,826억원, 고용 385명, 특허출원 271건 등 괄목할 만한 성과를 달성했다고 밝혔다.

간담회에 참석한 기업들은 R&D 성과 확산에 대한 건의사항으로 △R&D 과제 종료후 개발된 제품에 대한 판매 연계 강화 △사업화에 성공한 기업들의 해외 진출을 위한 판로 개척 △소부장 전문인력 양성 △시설투자에 대한 세액공제 확대 등을 밝혔다.