반도체 리소그래피용 광원 제조업체인 기가포톤이 15년만에 1.5배 고출력을 실현한 KrF 광원 신제품을 내놨다.

기가포톤은 신형 KrF용 광원 ‘G60K’를 지난 10월29일에 출하했다고 발표했다.

신형 KrF용 광원 ‘G60K’는 약 15년 만에 풀 모델 체인지와 함께 신형 전원 유닛을 도입해 기존 대비 1.5배인 60W 출력이 가능하다.

또한 바디는 확장성을 두루 갖춘 신형 플랫폼을 채용해 고주파수화 등 향후 KrF 광원의 성능 향상에도 대응한다.

기존 KrF용 광원은 고출력 시 스루풋은 올라가지만 모듈 교환 증가로 인해 다운 타임이 늘어나 가용성이 저하되는 딜레마가 있었다.

‘G60K’는 이 신기술을 통해 다운 타임을 늘리지 않으면서 고출력과 고가용성을 양립하는 데 성공했다. 또한 고선량 레이어의 최대 스루풋 실현도 가능하다.

기가포톤 대표이사 사장 겸 CEO 우라나카 카츠미는 “기가포톤의 KrF 광원은 우리의 기술과 경험이 응축된 제품으로 고객에게 오랫동안 높은 평가를 받고 있다. 이번에 15년 만에 풀 모델 체인지한 G60K는 현장에서 높은 가동을 실현해 고객의 생산성을 한층 더 높여주리라 확신한다. 기가포톤은 앞으로도 생산성을 최대화하는 제품과 서비스를 제공해 나가겠다”고 말했다.