▲ ▲지난 9일 열린 ‘반도체 제조장비 KS 제정을 위한 공청회’에 김광선 한국기술대학교 교수, 최철호 기표원 기계건설표준과장을 비롯한 아토, 세메스, 피에스케이, SEMI 코리아 등 관계자 20여명이 참석했다. . ▲지난 9일 열린 ‘반도체 제조장비 KS 제정을 위한 공청회’에 김광선 한국기술대학교 교수, 최철호 기표원 기계건설표준과장을 비롯한 아토, 세메스, 피에스케이, SEMI 코리아 등 관계자 20여명이 참석했다.

반도체 제조장비의 안전성 확보를 위한 국가 표준이 마련된다.

지식경제부 기술표준원(허경 원장)은 반도체 제조장비의 안전성 확보를 위해, ‘반도체 제조장비의 안전지침’에 대한 국가표준안을 마련하고 9일 서울 엘타워에서 KS 공청회를 개최했다.

제정 예정인 ‘반도체 제조장비의 안전지침’은 지난해 12월 반도체 제조장비의 안전에 관한 국제표준(IEC)이 제정됨에 따라 전문가로 구성된 ‘표준전문위원회’에서 심도있는 검토를 거쳐 지난 6월 23일부로 KS제정 예고 고시한 바 있다.

그동안 반도체 제조장비의 안전성 확보를 위해 노동부의 안전인증(S-마크)과 세계반도체장비재료협회(SEMI)의 단체표준, 유럽표준 등이 인용되면서 조금씩 다른 표준이 적용돼온 문제점이 있었다.

새로 마련된 표준안에는 국제표준(IEC)에서 제시하는 반도체 제조장비가 갖추어야 할 전기적 안전 요구사항뿐만 아니라, 반도체 제조장비의 특성에 따른 위험(화학물질, 전리방사선 등)의 주요내용을 포괄적으로 규정하고 있어 반도체 제조장비의 종합적인 안전요구사항으로 활용될 예정이다.

제조장비의 전기적 안전 요구사항은 비상차단(EMO), 연동회로(인터록) 등 국제표준(IEC)의 주요 내용과 일치하도록 했으며 제조장비에 사용되는 화학물질의 안전관리 요구사항, 전리 및 비전리 방사선에 대한 한계기준 등을 추가 제시함으로써, 장비업체들이 보다 안전한 장비를 설계·제작하도록 유도하고 있다.

기표원 관계자는 “이번 KS 공청회를 통해 관련 산업계 등 전문가의 의견을 폭넓게 수렴해 8월말 국가표준으로 제정할 계획”이라며 “국내 반도체 제조장비 개발에 안전표준 적용을 유도하고 제조장비의 안전성 확보를 통해 국제 경쟁력을 높일 것”이라고 밝혔다.