린데plc가 삼성디스플레이 탕정 공장 내 새로운 공기분리시설(Air separation plant) 건설을 통해 삼성의 증가하는 디스플레이 생산에 필요한 질소(N₂) 수요에 적극 대응한다.

린데plc는 5월2일 충남 아산시 탕정면의 삼성 디스플레이 생산단지(SDC:Samsung Display Complex)에 4번째 기체 질소 ASU 건설을 완료하고 최근 공급에 들어갔다고 밝혔다.

이번 공장에서 공급되는 물량은 기체 질소 일일 약 700톤 규모다.

린데plc는 현재 탕정에 3개의 ASU 플랜트를 가동하고 있었으며, 2005년부터 탕정에서 삼성의 디스플레이 사업에 질소, 산소, 알곤, 헬륨 및 기타 가스를 안정적으로 공급해 왔다.

린데plc관계자는 “린데plc는 40년 이상 삼성과 성공적으로 협력 해 왔으며, 원활한 고객 지원과 함께 광범위한 가스 및 응용 기술을 통해 확장 된 생산 능력을 지원하기 위해 전념하고 있다”고 전했다.

한편 디스플레이 제조 공정에 사용되는 질소는 냉각 및 퍼징(purging) 공정에 사용된다. 리소그래피 공정 중 웨이퍼를 깨끗하게 하고 응착력을 높이기 위해 질소로 씻어내는 작업에 이용된다.

또한 OLED 공정에서 수분과 산소를 차단하는 봉지(encapsulation) 공정에도 사용되고 있다.

이와 함께 질소의 사용량은 LCD공정에서 OLED공정으로 넘어오면서 사용량이 폭발적으로 증가하고 있다.

OLED는 유기물이기 때문에 산소와 습기에 취약해 진공상태에서 공정이 진행되는 경우가 많아 고가의 진공챔버가 필요하나, 최근 진공 챔버 대신 질소가 채워진 상온에서 공정을 진행하는 기술이 발전하면서 생산비용을 절감할 수 있는 질소의 사용이 급격히 늘고 있다.