▲ 히타치 하이테크가 중‧대형 소재부품을 사전작업 없이 빠르고 쉽게 측정할 수 있는 주사전자현미경(SEM) ‘SU3800’(左)과 ‘SU3900’을 출시했다.

반도체 제조장치 및 첨단소재 전문기업 주식회사 히타치 하이테크놀로지(이하 히타치 하이테크)가 수요업계의 요구에 선제대응해 중‧대형 소재부품을 별도의 사전작업 없이 빠르고 쉽게 측정할 수 있는 주사전자현미경(SEM)을 출시하고 세계시장 진출에 적극 나선다.

히타치 하이테크는 철강, 자동차 등 산업 관련 중형 소재부품 샘플을 정밀하게 측정할 수 있는 주사전자현미경 ‘SU3800’과 대형 샘플을 정밀하게 측정할 수 있는 주사전자현미경 ‘SU3900’을 최근 출시했다고 밝혔다.

이들 제품의 가장 큰 특징은 중‧대형 샘플을 쉽고 정확하게 측정할 수 있도록 설계됐다는 점이다. SEM은 나노 기술과 바이오 기술 분야를 필두로 모든 산업 분야에서 물질의 미세 구조에서부터 조성에 이르기까지 다방면에 걸쳐 미세표면형상을 관찰하고 분석하는데 활용되고 있다. 그러나 기존 SEM은 철강, 자동차 등 중‧대형 소재부품을 측정하기에는 샘플을 탑재하는 스테이지 및 중량의 제한으로 인해 절단 등 별도의 사전작업이 필요한 상황이었다.

이에 히타치 하이테크가 SEM 시장 확대를 위해 출시한 ‘SU3900’은 회사의 SEM 라인업에 탑재된 스테이지 중 최대 크기인 직경 300mm에 달하며 최대 5kg의 샘플을 측정할 수 있다. 이는 기존(2.5kg)대비 2배나 향상시킨 것으로 이제 대형샘플도 절단 등의 가공을 하지 않고 바로 관찰이 가능해졌다. 중형 샘플에 최적화된 ‘SU3800’은 직경 200mm의 스테이지가 탑재됐으며 최대 2kg의 샘플 측정이 가능하다.

최근 각종 소재의 고기능화‧고성능화 트렌드에 따라 미세구조의 제어가 필요하게 되면서 SEM은 이제 연구개발뿐만 아니라 품질보증과 생산관리에도 확대되고 있다. 이에 히타치 하이테크는 이번에 출시한 SEM에 계측 작업의 자동화와 광역 카메라 네비게이션을 장착함으로써 누구나 사용이 쉽도록 조작성을 향상시켰다.

히타치 하이테크 SEM은 샘플 설정 이후 전자 빔 조사에서부터 화상조정까지의 작업을 자동화됐기 때문에 사용자들은 관찰 개시 후 곧바로 SEM영상을 취득할 수 있어 신속한 관찰이 가능하다. 화상 조정의 경우 자동기능 실행 시의 대기시간이 기존 대비 1/3이하로 단축됐다.

또한 종래의 CCD카메라의 단일 칼라 화상으로 대응해야 했던 시야 찾기에 비해 히타치 하이테크는 스테이지를 회전해 샘픔 전체를 분할 촬영하고 각 화상을 연결함으로써 대형샘플의 넓은 관찰 영역에서의 시야 찾기를 가능하게 한 카메라 네비게이션을 실현했다.

히타치 하이테크는 이번에 출시한 SEM을 △4월29일부터 5월1일까지 미국 클리브랜드에서 개최되는 ‘세라믹 엑스포(Ceramics Expo)’ △5월7~10일 독일 슈투트가르트에서 개최되는‘33rd　Control’ △9월4~6일 일본 마쿠하리 멧세 등에서 개최되는 전시회 등에 실물 전시하며 마케팅을 강화할 계획이다.

기타 제품에 대한 자세한 사항은 히타치 하이테크 홈페이지 또는 한국 영업부(031-206-1533)로 문의하면 된다.