▲ 이재정 메카로 대표이사

반도체 장비 부품 및 화학 소재 전문기업 메카로(대표이사 이재정)가 세미콘코리아 2019에서 반도체 소재부품 기술력을 과시했다.

메카로는 지난 23일부터 25일까지 서울 삼성동 코엑스에서 개최된 ‘세미콘코리아 2019’에 참가했다.

이번 전시회에서 메카로는 △반도체용 Process Heater Block △LCD용 Susceptor △MOCVD, ALD 공정용 박막 증착에 사용되는 Chemical Precursor 등을 전시했다.

반도체용 히터블록은 반도체 공정의 웨이퍼나 LCD 공정의 글라스를 원하는 온도로 균일하게 히팅하고 공정조건을 위한 퍼지 가스 시스템과 웨이퍼를 척킹(Chucking)하기 위한 시스템이 제공돼 최상의 공정조건을 유지하는 제품이다.

메카로는 축적된 첨단 기술과 노하우를 통해 국내외 반도체 양산라인에 우수한 품질의 제품을 공급하고 있다.

더불어 메카로의 지르코늄 전구체(ZM40)은 디램 핵심 요소인 커패시터에 증착돼 전류 누설과 간섭을 막는 핵심 소재로 21나노 이하 디바이스 선폭에 적용되는 필수 물질이다.

이에 지난해에는 특허청이 주관하는 ‘2018년 상반기 특허기술상 충무공상’을 지르코늄 전구체(ZM40) 제조 기술로 수상하기도 했다.

2011년 지르코늄 전구체 개발에 성공한 이후 관련 사업은 2017년 기준으로 전체 매출액의 78.7% 비중을 차지하며 실적 성장 견인의 주요 요인으로 성장했다.

▲ 메카로가 전시한 반도체용 히터블록