초소형 전자 산업용 특수화학물질 및 첨단 소재 처리 솔루션의 선도업체인 인테그리스(Entegris Inc.)가 SAES의 Pure Gas 사업 인수를 통해 반도체용 고순도 가스 시장 고객 만족에 나선다.

인테그리스는 최근 SAES Getters로부터 SAES Pure Gas 사업을 3억5,500만달러에 최종 인수하는 계약을 체결했다고 발표했다.

SAES의 Pure Gas 사업부는 반도체 제조 및 인접 시장에서 사용되는 대용량 가스 정화 시스템 공급 사업부로 미국 캘리포니아에 있는 San Luis Obispo에 기반을 두고 있다.

가스 정화 시스템은 반도체 생산에 활용되는데, 반도체 재료의 오염 민감성 수준이 높아지면서 재료 정화는 첨단 반도체 성능 및 신뢰도에서 점차 중요한 역할을 담당하는 것으로 알려지고 있다.

첨단 메모리는 축소된 형상 및 다층 장치 아키텍처를 지원하기 위해 처리된 웨이퍼 당 상당히 높은 가스 소비를 필요로 하는데, 분자 오염에 대한 민감성이 증가하고 가스 소비량이 증가하고 있다.

이에 반도체 제조사들은 벌크 가스 공업 기업에 새로운 순도 요구 사항을 충족하는 공정 가스 공급을 원하고 있는 것으로 전해지고 있다.

Bertrand Loy 인테그리스의 사장 겸 CEO는 “이번 인수를 통해 고객은 벌크 가스 및 특수 가스 모두를 위한 완벽한 가스 정화 솔루션의 이익을 얻을 것”이라고 언급했다.