▲ 보호 재료 (불소계 이트륨)의 SEM 이미지.

반도체산업의 호황에 따라 보호재료에 대한 수요가 높아지고 있는 가운데, 일본이트륨이 이트륨 화합물 생산 설비 증강에 나선다.

미쓰이금속과 주식회사 토킨의 자회사인 일본이트륨주식회사(NYC)는 반도체 제조장치용 보호재료 생산 능력을 약 2.5 배 증강하기 결정했다고 지난 7일 밝혔다.

현재 반도체 시장은 IoT(사물인터넷)와 스마트폰, 자동차 ADAS(첨단운전자지원시스템)화 등의 수요로 인해 크게 성장하고 있으며, 앞으로도 이러한 추세는 지속될 것으로 전망되고 있다.

또한 반도체의 미세화·고집적화, 고생산성을 실현하기 위해 먼지나 오염물질의 저감이 요구되고 있어 이에 따른 보호재료로 산화물계에서 불소 계열의 이트륨으로 연구 개발이 진행중이다.

회사는 “NYC는 오랜 세월 축적한 희토류의 지식을 바탕으로 보호재료인 이트륨 불화물 및 옥시플로라이드(Oxyfluoride)를 개발·출시하고, 향후 반도체 시장의 수요 확대를 대비해 2018 하반기에는 현재의 약 2.5 배에 단계적인 설비 증강을 실시할 예정”이라 밝혔다.

한편, 1966년 설립된 일본이트륨은 일본에서 고순도 희토류 제품의 양산화를 실현한 희토류 기업으로 반도체 등에 사용되는 희토류의 생산·판매를 하고 있다.